Przetworniki ciśnienia krzemowo - piezorezystancyjne. W przetwornikach piezorezystancyjnych ciśnienia z membranę krzemową wykorzystuje efekt piezorezystancyjności występujący w monokrystalicznym krzemie. Elementem reagującym na ciśnienie jest cienka, o grubości od 1 μm do 25 μm, kwadratowa lub kołowa membrana, w którą zaimplantowano piezorezystory. Rozmieszczenie i liczba piezorezystorów zależy od konstrukcji przetwornika - minimalna liczba piezorezystorów jest równa cztery. Najczęściej wykonuje się sześć lub dziewięć piezorezystorów, z których można dobrać cztery do połączenia w układ mostka o minimalnym napięciu wyjściowym. Proces technologiczny produkcji membran oraz piezorezystorów nie pozwala na wykonanie przetworników o identycznych parametrach. Niewielka rozbieżność rezystancji piezorezystorów (spowodowana np. nierównomiernym domieszkowaniem) połączonych w układ mostkowy, powoduje pojawienie się w przekątnej pomiarowej mostka napięcia zerowego - tzw. napięcia przy p = p0. Drugim problemem w czujnikach piezorezystancyjnych jest zależność rezystancji półprzewodników od temperatury. W mostku piezorezystancyjnym zmienia się w funkcji temperatury napięcie zerowe oraz czułość. W niektórych rozwiązaniach wdyfundowane są rezystory służące tylko do pomiaru temperatury, nie przenoszące znaczących naprężeń. Pomiar temperatury pozwala na korekcję na drodze układowej lub programowej wpływu temperatury otoczenia. Również napięcie zerowe sprowadza się, poprzez wprowadzenie dodatkowych elementów nastawnych, do wartości bliskich zeru.
Przetworniki ciśnienia krzemowo - piezorezystancyjne. W przetwornikach piezorezystancyjnych ciśnienia z membranę krzemową wykorzystuje efekt piezorezystancyjności występujący w monokrystalicznym krzemie. Elementem reagującym na ciśnienie jest cienka, o grubości od 1 μm do 25 μm, kwadratowa lub kołowa membrana, w którą zaimplantowano piezorezystory. Rozmieszczenie i liczba piezorezystorów zależy od konstrukcji przetwornika - minimalna liczba piezorezystorów jest równa cztery. Najczęściej wykonuje się sześć lub dziewięć piezorezystorów, z których można dobrać cztery do połączenia w układ mostka o minimalnym napięciu wyjściowym. Proces technologiczny produkcji membran oraz piezorezystorów nie pozwala na wykonanie przetworników o identycznych parametrach. Niewielka rozbieżność rezystancji piezorezystorów (spowodowana np. nierównomiernym domieszkowaniem) połączonych w układ mostkowy, powoduje pojawienie się w przekątnej pomiarowej mostka napięcia zerowego - tzw. napięcia przy p = p0. Drugim problemem w czujnikach piezorezystancyjnych jest zależność rezystancji półprzewodników od temperatury. W mostku piezorezystancyjnym zmienia się w funkcji temperatury napięcie zerowe oraz czułość. W niektórych rozwiązaniach wdyfundowane są rezystory służące tylko do pomiaru temperatury, nie przenoszące znaczących naprężeń. Pomiar temperatury pozwala na korekcję na drodze układowej lub programowej wpływu temperatury otoczenia. Również napięcie zerowe sprowadza się, poprzez wprowadzenie dodatkowych elementów nastawnych, Do wartości bliskich zeru.
Przetworniki ciśnienia krzemowo - piezorezystancyjne. W przetwornikach piezorezystancyjnych ciśnienia z membranę krzemową wykorzystuje efekt piezorezystancyjności występujący w monokrystalicznym krzemie. Elementem reagującym na ciśnienie jest cienka, o grubości od 1 μm do 25 μm, kwadratowa lub kołowa membrana, w którą zaimplantowano piezorezystory. Rozmieszczenie i liczba piezorezystorów zależy od konstrukcji przetwornika - minimalna liczba piezorezystorów jest równa cztery. Najczęściej wykonuje się sześć lub dziewięć piezorezystorów, z których można dobrać cztery do połączenia w układ mostka o minimalnym napięciu wyjściowym. Proces technologiczny produkcji membran oraz piezorezystorów nie pozwala na wykonanie przetworników o identycznych parametrach. Niewielka rozbieżność rezystancji piezorezystorów (spowodowana np. nierównomiernym domieszkowaniem) połączonych w układ mostkowy, powoduje pojawienie się w przekątnej pomiarowej mostka napięcia zerowego - tzw. napięcia przy p = p0. Drugim problemem w czujnikach piezorezystancyjnych jest zależność rezystancji półprzewodników od temperatury. W mostku piezorezystancyjnym zmienia się w funkcji temperatury napięcie zerowe oraz czułość. W niektórych rozwiązaniach wdyfundowane są rezystory służące tylko do pomiaru temperatury, nie przenoszące znaczących naprężeń. Pomiar temperatury pozwala na korekcję na drodze układowej lub programowej wpływu temperatury otoczenia. Również napięcie zerowe sprowadza się, poprzez wprowadzenie dodatkowych elementów nastawnych, do wartości bliskich zeru.
Przetworniki ciśnienia krzemowo - piezorezystancyjne. W przetwornikach piezorezystancyjnych ciśnienia z membranę krzemową wykorzystuje efekt piezorezystancyjności występujący w monokrystalicznym krzemie. Elementem reagującym na ciśnienie jest cienka, o grubości od 1 μm do 25 μm, kwadratowa lub kołowa membrana, w którą zaimplantowano piezorezystory. Rozmieszczenie i liczba piezorezystorów zależy od konstrukcji przetwornika - minimalna liczba piezorezystorów jest równa cztery. Najczęściej wykonuje się sześć lub dziewięć piezorezystorów, z których można dobrać cztery do połączenia w układ mostka o minimalnym napięciu wyjściowym. Proces technologiczny produkcji membran oraz piezorezystorów nie pozwala na wykonanie przetworników o identycznych parametrach. Niewielka rozbieżność rezystancji piezorezystorów (spowodowana np. nierównomiernym domieszkowaniem) połączonych w układ mostkowy, powoduje pojawienie się w przekątnej pomiarowej mostka napięcia zerowego - tzw. napięcia przy p = p0. Drugim problemem w czujnikach piezorezystancyjnych jest zależność rezystancji półprzewodników od temperatury. W mostku piezorezystancyjnym zmienia się w funkcji temperatury napięcie zerowe oraz czułość. W niektórych rozwiązaniach wdyfundowane są rezystory służące tylko do pomiaru temperatury, nie przenoszące znaczących naprężeń. Pomiar temperatury pozwala na korekcję na drodze układowej lub programowej wpływu temperatury otoczenia. Również napięcie zerowe sprowadza się, poprzez wprowadzenie dodatkowych elementów nastawnych, do wartości bliskich zeru.
Przetworniki ciśnienia krzemowo - piezorezystancyjne. W przetwornikach piezorezystancyjnych ciśnienia z membranę krzemową wykorzystuje efekt piezorezystancyjności występujący w monokrystalicznym krzemie. Elementem reagującym na ciśnienie jest cienka, o grubości od 1 μm do 25 μm, kwadratowa lub kołowa membrana, w którą zaimplantowano piezorezystory. Rozmieszczenie i liczba piezorezystorów zależy od konstrukcji przetwornika - minimalna liczba piezorezystorów jest równa cztery. Najczęściej wykonuje się sześć lub dziewięć piezorezystorów, z których można dobrać cztery do połączenia w układ mostka o minimalnym napięciu wyjściowym. Proces technologiczny produkcji membran oraz piezorezystorów nie pozwala na wykonanie przetworników o identycznych parametrach. Niewielka rozbieżność rezystancji piezorezystorów (spowodowana np. nierównomiernym domieszkowaniem) połączonych w układ mostkowy, powoduje pojawienie się w przekątnej pomiarowej mostka napięcia zerowego - tzw. napięcia przy p = p0. Drugim problemem w czujnikach piezorezystancyjnych jest zależność rezystancji półprzewodników od temperatury. W mostku piezorezystancyjnym zmienia się w funkcji temperatury napięcie zerowe oraz czułość. W niektórych rozwiązaniach wdyfundowane są rezystory służące tylko do pomiaru temperatury, nie przenoszące znaczących naprężeń. Pomiar temperatury pozwala na korekcję na drodze układowej lub programowej wpływu temperatury otoczenia. Również napięcie zerowe sprowadza się, poprzez wprowadzenie dodatkowych elementów nastawnych, do wartości bliskich zeru.
Przetworniki ciśnienia krzemowo - piezorezystancyjne. W przetwornikach piezorezystancyjnych ciśnienia z membranę krzemową wykorzystuje efekt piezorezystancyjności występujący w monokrystalicznym krzemie. Elementem reagującym na ciśnienie jest cienka, o grubości od 1 μm do 25 μm, kwadratowa lub kołowa membrana, w którą zaimplantowano piezorezystory. Rozmieszczenie i liczba piezorezystorów zależy od konstrukcji przetwornika - minimalna liczba piezorezystorów jest równa cztery. Najczęściej wykonuje się sześć lub dziewięć piezorezystorów, z których można dobrać cztery do połączenia w układ mostka o minimalnym napięciu wyjściowym. Proces technologiczny produkcji membran oraz piezorezystorów nie pozwala na wykonanie przetworników o identycznych parametrach. Niewielka rozbieżność rezystancji piezorezystorów (spowodowana np. nierównomiernym domieszkowaniem) połączonych w układ mostkowy, powoduje pojawienie się w przekątnej pomiarowej mostka napięcia zerowego - tzw. napięcia przy p = p0. Drugim problemem w czujnikach piezorezystancyjnych jest zależność rezystancji półprzewodników od temperatury. W mostku piezorezystancyjnym zmienia się w funkcji temperatury napięcie zerowe oraz czułość. W niektórych rozwiązaniach wdyfundowane są rezystory służące tylko do pomiaru temperatury, nie przenoszące znaczących naprężeń. Pomiar temperatury pozwala na korekcję na drodze układowej lub programowej wpływu temperatury otoczenia. Również napięcie zerowe sprowadza się, poprzez wprowadzenie dodatkowych elementów nastawnych, do wartości bliskich zeru.