8 (176)

Rys. 12.10. Widok w okularze mikroskopu Scluualt/.a przy ustalaniu działki elementarnej

Tabela 12.3. Dobór obiektywów w mikroskopie Schmaltza

Zakres pomiarowy . fc [P»"l .	Powiększenie własne obiektywu	Powiększenie całkowite	Średnica pola widzenia (mm)	Błąd pomiaru l°o)
0.5 - 1,5	60	520	0.3	7,7
o i "'"i	30	260	0.6	4.5 - S.O
5-15	14	120 | 1.3		5.0
o -Si 1 wo	7	60 | 2,5		4.0

12.2.1.2. Pomiary metodą interferencyjną

W przyrządach interferencyjnych wykorzystuje się zjawisko interferencji światła odbitego od powierzchni mierzonej oraz od powierzchni odniesienia (o wysokiej gładkości i płaskości), które umożliwia wizualizacje profilu chropowatości. Zasadę interferencji ilustruje rysunek rys. 12.1 la.

Promienie A i B padają na płytkę pólprzepuszczalną 1. Promień A odbija się w punkcie C, promień B odbija się od badanej powierzchni 2 i w punkcie C interferujc z promieniem A tworząc obraz interferencyjny w postaci ciemnych i jasnych prążków o szerokości równej połowie długości fali światła. Ocena wysokości nierówności polega, na wzrokowym określeniu wartości ugięcia prążka a w stosunku do odległości między prążkami b (rys. 12.1 Ib.c). Wysokość pojedynczej nierówności określa sic ze wzoru:

gdzie a - długość lali św iatła, a - 0.5-lpm dla światła inouochromatYczncuo. Przy użyciu mikrointerferometru mierzy się nierówności rzędu 0.03 lpm.

l>

Rys. 12.11. Pomiar chropowatości metodą mfcrferei;c>j: t- a) zasada interferencji, b) nierówności powierzchni oraz odpowiedni obraz w okularze mikrointerfcronictru. c) ocena wysokości nierówności, d) schemat mikrointerferometru: I - lampa oświetlająca. 2 piz>słona aperturowa, 3 przy słona, >\ - kostka dzieląca. 5 - obiektyw. 6 -- półprzezroczysto pb*ka. ? " badana pow ierzchnia, S - pryzmat, 9 - płytka z krzyżem. 10 - okular. 11 układ soczewek.

16