6800810434

Podstawowe mody działania SEM

Sygnał/mod	Informacja	Materiały	Rozdzielczość
Elektrony wtórne	morfologia	wszystkie	1 nm
Elektrony rozpraszane wstecznie	liczba atomowa	wszystkie	0,1 -0,5 Jim*
Promieniowanie rentgenowskie (EDS, WDS)	skład pierwiastkowy	wszystkie (płaskie)	~ 1 pm
Katodoluminescencj a	przerwa wzbroniona, domieszki, czasy życia	izolatory i półprzewodniki	~ 1 pm

W większości mikroskopów można badać próbki o rozmiarach cm. Rozdzielczość zależy od napięcia przyspieszającego oraz liczy atomowej SE - secondary electrons;

BSE - backscattering electrons.