MEMS – POJĘCIA PODSTAWOWE
Miniaturized combinations of:
Optics, Electronics and Mechanics
from the specialized technology fields of:
MicroElectroMechanical Systems (MEMS)
MicroOptoElectroMechanical Systems (MOEMS)
Wymiary MEMS/MOEMS
Technologie wytwarzania MEMS
Technologie wytwarzania MEMS
Proces wytwarzania MEMS
Podstawowe technologie MEMS
Materiały technologii MEMS
Procesy technologiczne odwzorowania kształtów
Techniki litograficzne
Technologia „surface micromachining”
Procesy technologiczne, w wyniku których
powstają nowe warstwy
Trawienie
Trawienie suche
Trawienie suche
Trawienie mokre
Trawienie anizotropowe
Trawienie anizotropowe
Procesy trawienia
Przykład procesu technologicznego czujnika ciśnienia
*
*
*
*DMD-Digital Micro Device