background image

Technologie mikro- nano-     

część Prof. Golonki

 

 

1. Układy wysokotemperaturowe mogą być nanoszone na następujące podłoże ceramiczne: 

 

a) Al2O3  

 

b) BeO  

 

c) AlN  

2. Typowe grubości ścieżek w układach grubowarstwowych: 

 

a) 0,05 um 

 

b) 5 um  

 

c) 500 um 

3. Typowa szerokość ścieżki grubowarstwowej: 

 

a) 0,3 um 

 

b) 300 um  

 

c) 30 mm 

 

d) 0,2 mm  

4. Składnik podstawowy past decyduje o: 

 

a) właściwościach elektrycznych  

 

b) przyczepności 

 

c) lepkości pasty 

5. Rozrzuty wartości rezystancji rezystorów grubowarstwowych po wypaleniu (bez korekcji) wynoszą: 

 

a) +/- 1% 

 

b) +/- 20%  

 

c) +/- 100% 

 

d) +/- 0,2% 

 

e) +/- 2% 

6. Metoda Fodel polega na: 

 

a) obróbce fotolitograficznej wysuszonej warstwy  

 

b) obróbce fotolitograficznej wypalonej warstwy 

 

c) nacinaniu laserem 

7. Procesy zachodzące w czasie wypalania warstwy rezystywnej: 

 

a) usuwanie składnika organicznego  

 

b) zagęszczanie szkła  

 

c) powstawanie porów  

 

d) tworzenie stopu PdAg 

background image

8. Pomiędzy ziarnami przewodzącymi w rezystorach grubowarstwowych występuje przewodnictwo: 

 

a) tunelowanie 

 

b) skokowe 

 

c) emisja polowa  (nie wiem :P) 

9.  Zalety układów polimerowych: 

 

a) niska cena  

 

b) duża stabilność 

 

c) wysokie dopuszczalne moce 

 

d) możliwość stosowania tanich podłoży  (na slajdach jest, że można dowolne podłoże) 

10. Układy MCM-D są wykonywane: 

 

a) techniką grubowarstwową  

 

b) techniką cienkowarstwową  

 

c) technikami półprzewodnikowymi 

11. Struktury  do układów LTCC są montowane metodą: 

 

a) lutowania 

 

b) montażu powierzchniowego 

 

c) metodą flip-chip  

12.Typowe grubości surowej ceramiki LTCC: 

 

a) 5 um 

 

b) 100 um  

 

c) 1000 um 

13. Folie LTCC są wykonywane techniką: 

 

a) sitodruku 

 

b) wylewania (tape casting)  

 

c) natryskiwania plazmowego 

14. Metody wykonywania elementów grubowarstwowych: 

 

a) rozpylanie magnetronowe 

 

b) sitodruk  

 

c) dyfuzja 

15. Nośnik organiczny wchodzący w skład past decyduje o: 

 

a) właściwościach elektrycznych 

 

b) przyczepności wypalonej warstwy  

 

c) lepkości pasty ?()? 

 

background image

16. Struktury do układów MCM są montowane metodą: 

 

a) lutowania 

 

b) montażu powierzchniowego  

 

c) metodą flip-chip  

17. Układy MCM-C są wykonane: 

 

a) techniką grubowarstwową  

 

b) techniką cienkowarstwową 

 

c) technikami półprzewodnikowymi 

18. Obudowy LTCC pozwalają na dostarczenie do układu MEMS: 

 

a) sygnału elektrycznego  

 

b) sygnału optycznego  

 

c) cieczy  (nie jestem w 100% pewny tego pyt) 

19. Otwory w surowej ceramice LTCC wykonuje się: 

 

a) laserem  

 

b) wykrojnikiem mechanicznym  

 

c) wiązką elektronów 

20. Najmniejszą przewodność cieplną ma ceramika: 

 

a) BeO (największa) 

 

b) Al2O3  

 

c) AlN 

21. Techniką grubowarstwową wykonuje się następujące elementy: 

 

a) rezystory  

 

b) tranzystory 

 

c) kondensatory  

22. Na pasty przewodzące wysokotemperaturowe  stosuje się następujące materiały: 

 

a) PdAg  

 

b) Ag  

 

c) ? 

23. Sitodruk precyzyjny pozwala na wykonanie ścieżek o minimalnej szerokości: 

 

a) 0,2 um 

 

b) 50 um  

 

c) 0,2 mm 

 

 

background image

24. Metoda Fodel pozwala na wykonanie warstw: 

 

a) na ceramice alundowej 

 

b) na surowej ceramice LTCC 

 

c) na wypalonej ceramice LTCC  

25. Zastosowanie układów polimerowych: 

 

a) elementy elektroluminescencyjne  

 

b) elementy elektromagnetyczne  

 

c) potencjometry  

26. W czasie procesu sitodruku lepkość pasty: 

 

a) nie zmienia się 

 

b) maleje o kilka % 

 

c) maleje o kilka rzędów  

27. Typowy cykl wypalania układu LTCC trwa: 

 

a) 1 min 

 

b) 1 godz. 

 

c) kilka godz.  

28. Najmniejsze średnice otworów wykonywanych w foliach LTCC wykrojnikiem mechanicznym: 

 

a) 1um 

 

b) 50 um  

 

c) 500 um 

29. W czasie procesu wypalania  grubość folii LTCC firmy DuPont: 

 

a) rośnie o 15%  

 

b) nie zmienia się 

 

c) maleje o 15%   

30. Wewnątrz modułu LTCC można wykonać jako elementy zagrzebane: 

 

a) cewki  

 

b) kondensatory  

 

c) rezystory  

 

d) tranzystory (niby piszą że to też ale na rysunku tego nie ma (wykład 6)) 

31. Do wykonania kanałów w ceramice LTCC można stosować: 

 

a) laser  

 

b) frez mechaniczny (jeśli tu będzie wykrojnik mechaniczny to też ) 

 

c) metodę wytaczania 

 

background image

32. Temperatura wypalania HTCC: 

 

1600 - 1800  ̊C 

33. Skład pasto polimerowych: 

 

Faza czynna: sadza, grafit, srebro 

 

Faza nośna: żywice epoksydowe, fenolowe, aminowe, poliamidowe, poliestrowe, silikonowe 

 

Wypełniacze: SiO2, parafina, oleje organiczne 

 

Rozcieńczalniki: aceton, żywice jednoepoksydowe 

34. W czym jest gorsza warstwa gruba od cienkiej: 

 

a) cena 

 

b) adhezja  

 

c) szumy  (nie jestem pewien tego pytania) 

35. Jednostka TWR: 

 

ppm/K 

36. Jednostka GF: 

 

bez jednostkowa (Ω/Ω lub m/m) 

37. Jakie wartości rezystancji wytworzymy grubą warstwą: 

 

1 - 10^7 Ω/□ 

38. Jakie składniki ma pasta ścieżek przewodzących: 

 

Ag 

39. Średnica wiązki lasera przy korekcji: 

 

15 - 80 um 

40. Średnica dysz przy korekcji: 

 

300 - 500 um 

41. Minimalna szerokość ścieżki w technice grubowarstwowej: 

 

10 um (laserem) 

42. Układami MCM są: 

 

MCM-D, MCM-L, MCM-C 

43. Czas wypalania HTCC: 

 

??? 

background image

44. Rezystancja powierzchniowa wyrażona jest wzorem: 

 

R□ = ϱ/d [Ω/□] 

 

ϱ - rezystywność warstwy rezystywnej 

 

d - grubość warstwy 

45. Z polimerów możemy wytworzyć ścieżki: 

 

Rezystywne, przewodzące, dielektryczne 

46. Do MCM-C zaliczamy: 

 

TFM, HTCC, LTCC 

47. Grubowarstwowe ścieżki przewodzące mają rezystancje rzędu: 

 

ok 5 [mΩ/□] 

48. Z LTCC można zrobić: 

  

Ścieżki przewodzące, czujniki i przetworniki, kanały(gaz,ciecz), elementy elektroniczne(R, L, C)  

 

elementy optoelektroniczne, układy grzejne, chłodzące 

49. Dokładne (precyzyjne) ścieżki robimy metodami: 

 

sitodruk precyzyjny (fine line printing) 

 

trawienie wysuszonej warstwy światłoczułej (FODEL) 

 

trawienie wypalonej warstwy (photoimageable paste) 

 

druk offsetowy (gravure-offset) 

 

nanoszenie przez dysze (ink jet printing) 

 

wykorzystanie systemu laserowego ( laser pattering) 

50. Zalety past polimerowych: 

 

Tanie, dowolne podłoża, dobre właściwości elektryczne 

51.  Rezystancja podczas korekcji: 

 

a) rośnie  

 

b) maleje 

 

c) nie zmienia się 

52. Grubość ceramiki podczas wypalania: 

 

a) rośnie 

 

b) maleje  

 

c) nie zmienia się 

background image

 

 

53. w LTCC możemy robić rezystory: 

 

a) na górze  

 

b) w środku (zagrzebane)  

 

c) na spodzie 

54. Wady warstw polimerowych: 

 

Stabilność, dopuszczalne moce, temperatura pracy 

55. Parametry laminacji: 

 

p = 200 atm T = 70  ̊C t = 10 min 

 

Pytań, które znalazłem było 100 lecz tak dużo się powtarzało, że zostało tylko 55 :P 

Wszelkie poprawki mile widziane :) 

Powodzenia na egzaminie życzy Bochen :)