Seminarium dyplomowe 2
Seminarium dyplomowe 2
Pytanie 19: Mikroinżynieria
przestrzenna-procesy
technologiczne, przykłady
zastosowań
Autor:
Marcin
Brylak
Seminarium dyplomowe 2
Seminarium dyplomowe 2
Pytanie 19: Mikroinżynieria
przestrzenna-procesy
technologiczne, przykłady
zastosowań
Autor:
Marcin
Brylak
Wprowadzenie
Wprowadzenie
W mikrosystemach stosuje się
zarówno pojedyncze, proste
mikrokontrukcje przestrzenne,
jak i wiele takich
mikrokonstrukcji połączonych w
jednolity technologicznie i
funkcjonalnie system
mechaniczno-elektryczny.
Procesy technologiczne
Procesy technologiczne
(1)
(1)
W technice mikrosystemów stosuje się do
formowania przestrzennego takich procesów jak:
Głęboka obróbka mikromechaniczna
metodą mokrą i mikromechanicznego
łączenia materiałów (bonding
)
Płytka, powierzchniowa
mikromechaniczna obróbka krzemu:
– Anizotropowe mokre trawienie
– Izotropowe mokre trawienie
– Anizotropowe suche trawienie plazmowe
– Izotropowe suche trawienie plazmowe
Procesy technologiczne
Procesy technologiczne
(2)
(2)
LIGA (Litography-Galvanotechnik-
Abformung)-proces obejmujący litografię,
elektroosadzanie i odwzorowywanie
Stereolitografia i osadzanie przestrzenne
Precyzyjna mikroobróbka mechaniczna, a
w tym elektroerozja, erozja pyłowa,
erozja wywołana światłem laserowym,
wytłuczenie i obróbka wiórowa
Procesy technologiczne
Procesy technologiczne
(2)
(2)
Łączone procesy formowania
struktur mikromechanicznych:
Technika dyfuzji stopującej
Technika mokro-sucha
Technika projekcyjna
Technika mokro-mokra
Struktury
Struktury
mikromechaniczne
mikromechaniczne
Do podstawowych mikrokonstrukcji
przestrzennych trawionych anizotropowo metodą
mokrą, a stosowanych w mikromechanice
zintegrowanej na krzemie zalicza się:
Membrany (kwadratowe, prostokątne, płaskie ze
wzmocnieniami centralnymi lub ze strukturą
powierzchniową)
Rowki o różnych przekrojach
Belki, zestawy belek, membrany na belkach
Wgłębienia, otwory, matryce otworów oraz wypukłości,
ostrza, matryce ostrzy
Zastosowania struktur
Zastosowania struktur
mikromechanicznych (1)
mikromechanicznych (1)
Membrany płaskie:
– Piezorezystancyjne czujniki ciśnienia
– Czujniki promieniowania
– Bolometry
– Zawory i pompy
Membrany profilowane i ze
wzmocnieniami:
– Czujniki ciśnienia z zabezpieczeniem
przeciążeniowym
– Czujniki siły
– Przełączniki ciśnienia
Zastosowania struktur
Zastosowania struktur
mikromechanicznych (2)
mikromechanicznych (2)
Rowki:
– Pozycjonery (sprzęgacze) dla światłowodów
– Dozowniki, separatory chemiczne i
biochemiczne
Belki,zestawy belek, membrany na
belkach:
– Głowice mikroskopów tunelowych i sił
atomowych
– Wibratometry
– Analizatory drgań
– Modulatory światła
– Przepływomierze
Zastosowania struktur
Zastosowania struktur
mikromechanicznych (3)
mikromechanicznych (3)
Wgłębienia, otwory, matryce
otworów:
– Mikroreaktory chemiczne
– Analizatory DNA
– Głowice drukarek atramentowych
Ostrza, matryce ostrzy:
– Emitery elektronów
– Mikrostrzykawki do dozowania
lekarstw
Przykłady zastosowań (1)
Przykłady zastosowań (1)
Etapy technologiczne produkcji mikromechanicznego
czujnika ciśnienia
Przykłady zastosowań (2)
Przykłady zastosowań (2)
Gotowy czujnik ciśnienia o czułości 120pF/Tr
Przykłady zastosowań (3)
Przykłady zastosowań (3)
LIGA
Literatura
Literatura
JAN A.DZIUBAN „Technologia i
zastosowanie mikromechanicznych
struktur krzemowych i krzemowo
szklanych w technice
mikrosystemów”
www.mems-issys.com