Ćwiczenie T1 _PTW_
MCM034003L
URZĄDZENIA DO WYTWARZANIA WARSTW GRUBYCH
prowadzący: mgr inż. Jan Macioszczyk, ul. Długa 61, bud. M-11, p. 123, e-mail:
Jan.Macioszczyk@pwr.edu.pl
INSTRUKCJA DO ĆWICZENIA LABORATORYJNEGO
1. Cel ćwiczenia:
Zapoznanie z urządzeniami używanymi w technologii grubowarstwowej
Przypomnienie wiadomości z zakresu technologii warstw grubych
2. Zadania do wykonania:
Zapoznanie się z procesem wykonywania sit
Wykonanie masek
Czyszczenie sit
Nakładanie emulsji światłoczułej
Fotolitografia
Zapoznanie się z konstrukcją sitodrukarki
Prezentacja sitodrukarki DEK 1202
Prezentacja sitodrukarki AUREL VS1520A
Zapoznanie się z procesem wypału
Prezentacja pieca komorowego Nabertherm HTC 03/16
Prezentacja pieca taśmowego BTU QA 41-6-54
3. Zagadnienia do przygotowania:
Przebieg procesu wykonywania standardowych warstw grubych
Przygotowanie sit – przebieg, parametry sit
Sitodrukarka – konstrukcja, przebieg i parametry procesu sitodruku
Piece – rodzaje konstrukcji pieców, parametry procesu wypalania
4. Scenariusz (łączny czas wykonania ćwiczenia 135 minut)
- (30 min., sala dydaktyczna) wstęp teoretyczny do zajęć – przedstawienie tematyki
zajęć, omówienie podstawowych zagadnień związanych z urządzeniami do wytwarzania
warstw grubych oraz wytwarzaniem grubowarstwowych układów półprzewodnikowych,
- (30 min., M6) zapoznanie się z procesem wykonywania sit (wykonanie masek,
czyszczenie sit, nakładanie emulsji światłoczułej, fotolitografia),
- (30 min., M11/031) zapoznanie się z konstrukcją sitodrukarki (prezentacja sitodrukarki
DEK 1202 oraz sitodrukarki AUREL VS1520A),
- (30 min., M11/031) zapoznanie się z procesem wypalania (prezentacja pieca
komorowego Nabertherm HTC 03/16 oraz pieca taśmowego BTU QA 41-6-54),
- (15 min., sala dydaktyczna) podsumowanie zajęć.
5. Literatura:
Wykłady, PTW, prof. dr hab. inż. Leszek Golonka,
A.
Dziedzic, L. Golonka, B. Licznerski, B. Morten, M. Prudenziati, „Technika
grubowarstwowa i jej zastosowania”, Skrypt, Wrocław 1998,
