Analiza spektroskopowa w mikroobszarach

1. W mikroskopie elektronowym skaningowym układ odchylania wiązki powoduje sterowanie wiązką elektronów. W efekcie pozwala to na uzyskanie obrazu topografii powierzchni oraz obrazu rozkładu pierwiastków w strefie powierzchniowej badanej próbki.

2. Idea mikroanalizy rentgenowskiej polega na wzbudzaniu przez silnie zogniskowaną wiązkę elektronów, o średnicy zwykle poniżej 1 ၭm, charakterystycznego promieniowania rentgenowskiego w wybranym miejscu badanej próbki i na analizie tego promieniowania za pomocą spektrometru rentgenowskiego.

3. Metodą mikroanalizy rentgenowskiej można ustalić rodzaj pierwiastków, które występują w wybranym mikroobszarze, ich powierzchniowe i liniowe rozmieszczenie oraz precyzyjną informację o ilości poszczególnych pierwiastków.

4. Mikroanaliza rentgenowska jest to najłatwiejsza metoda analizy małych próbek. Ich przygotowanie nie wymaga specjalnych technik.