DSC03009

Wykonanie ćwiczenia

ścieniarka Gatan PIPS 691 V 3.1 i V 4.32

Ścienianie jonowe realizowane jest przez dwa działa jonowe umieszczone pod niewielkim kątem do powierzchni próbki. Działa jonowe zawierają silne magnesy wykonane z metali ziem rzadkich. Działa jonowe mogą osiągać bardzo duże prędkości ścieniania. Każde działo zamontowane jest na ruchomym uchwycie, który umożliwia centrowanie wiązki jonów w osiach X i Z. Dodatkowo ścieniarka wyposażona jest w mikroskop optyczny, dzięki któremu można obserwować próbkę podczas ścieniania. W dziale znajduje się przesłona eliminująca erozję katodową co sprawia, że nie trzeba bardzo często czyścić działa oraz minimalizuje kontaminację. Kontaminacja jest także zmniejszona przez zastosowanie bezolejowego systemu pomp próżniowych. Jednostronny uchwyt na próbkę zapewnia dobrą wymianę depła i uniemożliwia przegrzanie próbki w czasie śdeniania.

Specjalna konstrukcja tzw. Whisperlok umożliwia kontrolowanie końcowego momentu ścieniania do momentu powstania perforacji nawet dla próbek przeźroczystych dla światła, dzięki zastosowaniu do detekcji prążków interferencyjnych, z dokładnością pomiaru grubośd próbki do ± 10 nm. W odstępach co 120s na 1s włącza się układ detekcji z fotokomórką i "sprawdza", czy jest już otwór. Czułość fotokomórki można regulować.

W górnej części znajdują się działa jonowe oraz śruby umożliwiające ich centrowanie. Naprzeciw każdego z dział umieszczone są klatki Faradaya, umożliwiające pomiar natężenia prądu. Z lewej strony umieszczone są przydski włączające oświetlenie próbki od dołu i od góry. Działa jonowe mogą być nachylone pod kątem 4° do poziomu. Ruchoma przesłona zapobiega osadzaniu się usuniętego z próbki materiału na szkiełku.W nowszym typie ścieniarki kąt nachylenia dział może być regulowany w zakresie +10°.

System próżniowy

Pompa molekularna + czterostopniowa pompa membranowa pompują argon z prędkośdą 18 l/s. Próżnia w komorze ścieniarki jest w zakresie 10* Tr. Czas pompowania wynosi około 15 minut. Próżnia jest zachowana nawet wtedy, gdy wyłączy się zasilanie.

13