0015

TECHNOLOGIE MEMS

(ang. micro-electromechanical Systems)

Technologie MEMS służą wytwarzaniu drobnych, mikroskopijnie małych urządzeń i systemów integrujących w sobie funkcjonalne składniki (podzespoły) mechaniczne, elektryczne i elektroniczne (np. programowo sterowane układy z mikro-silnikami). Są one tworzone przy użyciu technologii stosownych do tej pory w produkcji układów scalonych, a ich rozmiary zawierają się w granicach od mikrometrów do milimetrów.

Krzemowy mikrosilnik

(na pierwszym planie ludzki włos)

1/16

Materiałoznawstwo elektrotechniczne