13878 Obraz2

63

Czujniki prędkości obrotowej i prędkości jazdy Mikromechaniczne czujniki kąta obrotu

Rysunek 4

1    - struktura grzebieniowa

2    - oscylator skrętny

Wprawdzie mniejsze wymiary chipa i prostszy proces wytwarzania spowodowały zmniejszenie ceny. Spowoduje to zmniejszenie i tak niewielkich efektów pomiarowych i przy tym osiągalnej dokładności. Stawia to ostrzejsze wymagania elektronicznemu układowi przetwarzania sygnałów. Wpływ ubocznych obcych przyspieszeń jest tu w korzystny sposób mechanicznie ograniczony poprzez odpowiednie ułożyskowanie elementu pomiarowego w centralnej osi bezwładności (zawierającej środek masy), jak również dużą sztywność zginania układu przeciwdziałającą przyspieszeniom zakłócającym.