Badania prowadzone za pomocą transmisyjnego mikroskopu elektronowego (TEM) wymagają przygotowania bardzo cienkich preparatów (0.1 -i- 0.5 pm). Tak cienkie próbki można uzyskać metodami bezpośrednimi i pośrednimi.
Metodami bezpośrednimi Wykonuje się jednolite próbki materiału badanego - są to cienkie folie, przygotowywane z materiałów metalicznych, ceramicznych, półprzewodnikowych itd.
Metodami pośrednimt-można uzyskać repliki i próbki materiału, które umieszczamy na siateczkach nośnych.
Obydwa rodzaje próbek muszą posiadać dobrą stabilność mechaniczną tak aby można było je uchwycić za pomocą pincety (lub igły z rurką do odsysania powietrza). Z tego względu bardzo kruche materiały lepiej jest umieszczać na siateczce nośnej. Najczęściej siateczki te wykonane są z miedzi, ale obecnie na rynku dostępne są siateczki z innych metali, np.: Ni, Au, Be.
Siateczka przeszkadza nam jednak przy mikroanalizie, ponieważ do detektora dociera promieniowanie rentgenowskie nie tylko od próbki, ale także to wzbudzone od siateczki. Początkowo próbowano do celu mikroanaiizy wykonywać siateczki nośne z nylonu napylonego węglem, ale te siateczki zawierają także pewną ilość tytanu i są niestabilne pod wpływem nagrzewania wiązki. Najlepsze z punktu widzenia mikroanaiizy są siateczki berylowe.