87651 Obraz0 (11)

Ad. 6 Wymiar technologiczny a technologia wykonania

nromusmonrant# UV

i JI U 11! I U

iły ■■ 1

nsska fatoi«yw S1O2

tran

1    kawuzynlu n»5i^iwi-«tt^a> puteiemttt

capi¹ jrodkwit nie ln<tw rwmriHton# 1 ute^iii* razswzorarwi poaefts «ryvrc&niu

Wytrawami# pa#z okna n fotorezytcm (ld wyw^nniu!

frtwiayst

SiQ2

kriw

J W^rnK ^Irawłujf* oKw WS1O2

malejące rozmiary ukł. scalonych

S io-⁶

I¹⁰-⁷

p

B

-o ¹⁰'⁸

'C/3

O

M

rs 10-⁹

10-⁵

litografia. świetlna

pieców*

(.c>ću)tfcru>u'e/

^itó^^ąeletepriawa i f\. ^:r§ii|^nawśka '

■rozmiary atomów

nanotechnologia

10-

lata

1970    1980    1990    2000    2010    202

■