1800320348

1800320348



Politechnika Wrocławska

Technologie mikroinżynieryjne wykorzystywane

do wytwarzania systemów mikrofluidycznych


•    Clean room o klasie czystości 1000 i wyżej, -500 m2

•    Fotolitografia UV

•    Głęboka obróbka krzemu (MAT, DRIE) i szkła (MIT)

•    Nanoszenie warstw metalicznych (Au, Al, Cr, Ni, Pt)

•    Procesy wysokotemperaturowe (utlenianie krzemu, dyfuzja domieszek)

•    Bonding anodowy (Si-szklo), próżniowy i w kontrolowanej atmosferze, dyfuzyjny (Si-Si, szkto-szklo), foliowy (?-?), techniki specjalne

Wszystkie wymienione technologie dostępne są w PMiM



Wyszukiwarka

Podobne podstrony:
Politechnika WrocławskaMIKROEKONOMIA Wykład 1: Wprowadzenie do ekonomii Prowadzący zajęcia: dr
Dolnośląski Festiwal Nauki na Politechnice Wrocławskiej Chemia kluczem do Natury Intrygujące reakcje
Politechnika Wrocławska Zakład Odlewnictwa i Automatyzacji
DSC00202 żek, zaś szereg C jest najczęściej wykorzystywany do wytwarzania kopert, teczek, skoroszytó
POLITECHNIKA WROCŁAWSKA Niniejszy suplement do dyplomu oparty jest na modelu opracowanym przez Komis
POLITECHNIKA WROCŁAWSKA Załącznik nr 3 do Regulaminu pomocy materialnej dla studentów ZASADY
Politechnika WrocławskaPrzed egzaminem dyplomowymDokumenty do obrony - teczka [1/3]Złożenie dokument
Politechnika WrocławskaPrzed egzaminem dyplomowymDokumenty do obrony - teczka [2/3] 2.
Politechnika WrocławskaPrzed egzaminem dyplomowymDokumenty do obrony - teczka [3/3] 7.
Politechnika WrocławskaZakończenie semestru ASAP [1/3] ■ do 14 grudnia 2015Wprowadzenie przez studen
Do zadań Uczelnianego Systemu Zapewniania Jakości Kształcenia realizowanego w Politechnice Wrocławsk
Do zadań Uczelnianego Systemu Zapewniania Jakości Kształcenia realizowanego w Politechnice Wrocławsk
Do zadań Uczelnianego Systemu Zapewniania Jakości Kształcenia realizowanego w Politechnice Wrocławsk
Politechnika WrocławskaLogistyka produkcji Proces produkcji - jest to transformacja wchodzących do s
Politechnika WrocławskaWprowadzenie do wytwarzania materiały do wykładu f JtiSJT*. i
Do zadań Uczelnianego Systemu Zapewniania Jakości Kształcenia realizowanego w Politechnice Wrocławsk
POLITECHNIKA WROCŁAWSKA WYDZIAŁ MECHANICZNY INSTRUKCJA LABORATORIUM DO WYKŁADU SENSORY I SYSTEMY
Do zadań Uczelnianego Systemu Zapewniania Jakości Kształcenia realizowanego w Politechnice Wrocławsk

więcej podobnych podstron