Główne elementy mikroskopu:
• Kolumna Gemini
• Detektor InLeans
• Detektor elektronów wtórnych (Secondary electron - SE)
• Detektor elektronów wstecznie rozproszonych (Beck scattered electron - BSE)
• Kamerę EBSD
• Detektor EDS
• Detektor WDS
20
Instytut Materiałów Inżynierskich i Biomedycznych