9172401609

PROGRAM ROZWOJOWY

POLITECHNIKI WARSZAWSKIEJ

wgłębienie

półprzewodnika

zaślepka

tworzywo elastyczne

kanał doprowadzający ciśnienie atmosferyczne odprowadzenia

piezorezystory

otwór z ciśnieniem atmosferycznym

Rys. 2 Budowa piezorezystancyjnego czujnika ciśnienia

Zasadnicza część czujnika jest osadzona na warstwie szkła o identycznej rozszerzalności cieplnej co krzem. Mierzone ciśnienie doprowadzane jest do membrany przez otwór w obudowie, powodując jej odkształcenie, które prowadzi do zmiany rezystancji umieszczonych na niej piezorezystorów. Piezorezystory pracują w układzie pełnego mostka Wheatstone’a tzn. pod wpływem odkształcenia, dwa z nich umieszczone na górze membrany ulegają rozciągnięciu (ich rezystancja rośnie), a pozostałe dwa umieszczone na spodzie membrany ulegają zgnieceniu (ich rezystancja maleje). Napięcie wyjściowe U_p w mostu Wheatstone'a zależy od rezystancji piezorezystorów oraz od napięcia zasilania mostka i wyraża się następującym wzorem:

(6)

Rys. 3 Pełny mostek Whatestone'a

Sygnał napięciowy z mostka pomiarowego ma małe wartości (rzędu dziesiątek miliwoltów), więc musi być dodatkowo wzmocniony.

Budowa układu pomiarowego:

Przetwornik

ciśnienia

Kalibrator

Wzmacniacz

Rys. 4 Schemat toru pomiarowego

NARODOWA STRATEGIA SPÓJNOŚCI

KAPITAŁ LUDZKI

4

UNIA EUROPEJSKA

EUROPEJSKI FUNDUSZ SPOŁECZNY

m