112 MECHANIK NR 2/2011 Tomografia komputerowa CT w zastosowaniach przemysÅ‚owych Cz. I. IDEA POMIARÓW, GAÓWNE ZESPOAY I ICH FUNKCJE EUGENIUSZ RATAJCZYK* Idea pomiarów tomograficznych opartych na promienio- wanie X, przechodzÄ…c przez badany obiekt, doznaje osÅ‚a- bienia, które jest funkcjÄ… energii promieniowania, rodzaju waniu rentgenowskim X. Budowa tomografów komputero- i gruboÅ›ci badanego materiaÅ‚u. Zmiana natężenia promie- wych CT główne zespoÅ‚y i ich funkcje. niowania równolegÅ‚ej wiÄ…zki o jednakowej energii, przy W dokÅ‚adnych pomiarach geometrycznych części ma- przejÅ›ciu przez obiekt, opisana jest zależnoÅ›ciÄ… [5]: szyn dominuje technika współrzÄ™dnoÅ›ciowa oparta na I =I0e- µ g w peÅ‚ni skomputeryzowanych współrzÄ™dnoÅ›ciowych ma- gdzie: szynach pomiarowych, zarówno w odniesieniu do prze- twarzania wyników pomiarów do wymaganej postaci, jak natężenie promieniowania po przejÅ›ciu przez obiekt, I i w zakresie sterowania czynnoÅ›ciami pomiarowymi [1]. poczÄ…tkowe natężenie promieniowania, I0 W ostatnich latach pojawiÅ‚a siÄ™, w pewnym zakresie liniowy współczynnik absorpcji promieniowania cha- µ konkurencyjna czy też uzupeÅ‚niajÄ…ca, technika pomiarów rakterystyczny dla danego materiaÅ‚u i okreÅ›lonej współrzÄ™dnoÅ›ciowych oparta na rentgenowskiej tomogra- dÅ‚ugoÅ›ci fali promieniowania X, fii komputerowej [2 ÷ 4, 6 ÷ 9]. Pozwala ona wyznaczać grubość badanego materiaÅ‚u. g wymiary przestrzennie uformowanych elementów wytwa- Liniowy współczynnik osÅ‚abienia promieniowania jest rzanych przez przemysÅ‚ maszynowy, motoryzacyjny, lot- zależny od liczby atomowej i gÄ™stoÅ›ci materiaÅ‚u obiektu. niczy i elektroniczny. Mimo, że technika ta jest mniej Jest on opisany przez prawo Bragga i Pierca [5]: dokÅ‚adna od pomiarów za pomocÄ… współrzÄ™dnoÅ›ciowych µ = k3Z3 maszyn pomiarowych, ma nad niÄ… pewnÄ… przewagÄ™, gdzie: może bowiem wykrywać nieciÄ…gÅ‚oÅ›ci materiaÅ‚owe mierzo- k współczynnik proporcjonalnoÅ›ci, nego przedmiotu w postaci wad w aspekcie defekto- dÅ‚ugość fali promieniowania, skopii, wyznaczać wymiary wewnÄ™trzne oraz monitoro- Z liczba atomowa materiaÅ‚u. wać wyniki montażu zespołów mechanicznych i elektrycz- nych. Promieniowanie X charakteryzuje siÄ™ ponadto nastÄ™pu- W części I artykuÅ‚u przedstawiona zostanie zasada jÄ…cymi wÅ‚asnoÅ›ciami: pomiarów tomograficznych, przykÅ‚ady budowy tomogra- jonizowaniem gazu, fów w aspekcie ich głównych zespołów, a w części II jest niewyczuwalne przez zmysÅ‚y czÅ‚owieka (nie my- przykÅ‚ady tomografów i ich zastosowaÅ„. Natomiast w czÄ™- lić ze szkodliwoÅ›ciÄ… na organizm czÅ‚owieka), Å›ci III oprogramowanie komputerowe, a przede wszyst- przebiega po liniach prostych, kim zdefiniowane zostanÄ… główne parametry charaktery- nie podlega odchylaniu w polu magnetycznym i elek- zujÄ…ce dokÅ‚adność pomiarów i metody ich wyznaczania. trycznym, podlega odbiciu, zaÅ‚amaniu i rozpraszaniu, Zasady pomiarów tomograficznych ma zdolność przenikania przez materiÄ™, ulega osÅ‚abieniu przy przejÅ›ciu przez materiÄ™. Tomografia komputerowa, TK (Computed Tomography W tomografii komputerowej najczęściej stosowane sÄ… CT) jest rodzajem spektroskopii rentgenowskiej metodÄ… dwa rodzaje ukÅ‚adów projekcji [4]: diagnostycznÄ…, pozwalajÄ…cÄ… na uzyskanie obrazów warst- ukÅ‚ad z równolegÅ‚Ä… wiÄ…zkÄ… promieniowania wowych badanego obiektu. Wykorzystuje ona zÅ‚ożenie (rys. 1). UkÅ‚ad ten skÅ‚ada siÄ™ z pÅ‚askiej wiÄ…zki promienio- projekcji obiektu wykonane z różnych kierunków do utwo- wania X, które jest emitowane w kierunku mierzonego rzenia obrazów przekrojowych (2D) i przestrzennych (3D). Tworzenie obrazu tomograficznego polega na pomia- rze pochÅ‚aniania promieniowania przechodzÄ…cego przez obiekt. ObjÄ™tość obiektu podzielona jest na maÅ‚e komórki, zwane vokselami, w których liniowy współczynnik po- chÅ‚aniania promieniowania jest taki sam. Zrekonstruo- wany obraz przekrojowy jest iloÅ›ciowÄ… mapÄ… liniowego współczynnika pochÅ‚aniania promieniowania w vokse- lach, wchodzÄ…cych w skÅ‚ad skanowanej warstwy. Ob- liczenie rozkÅ‚adu współczynników pochÅ‚aniania promie- niowania dokonywane jest przez komputer i dlatego me- toda ma nazwÄ™ tomografii komputerowej. Podstawowym sposobem badania jest skierowanie na badany obiekt wiÄ…zki promieniowania X i rejestracja jego natężenia po drugiej stronie na detektorach. Promienio- * Prof. dr inż. Eugeniusz Ratajczyk Wyższa SzkoÅ‚a Ekologii i ZarzÄ…dzania w Warszawie, WydziaÅ‚ ZarzÄ…dzania Rys. 1. Schemat ukÅ‚adu z pÅ‚askÄ… wiÄ…zkÄ… równolegÅ‚Ä… [6] MECHANIK NR 2/2011 113 obiektu, znajdujÄ…cego siÄ™ na stole obrotowym. Po drugiej stronie bada- nego elementu umieszczony jest li- niowy detektor rejestrujÄ…cy sygnaÅ‚ pomiarowy. Przedmiot badany jest przemieszczany kÄ…towo i liniowo w kierunkach x, y, z lub też wystÄ™pu- je przemieszczenie ukÅ‚adu lampa rentgenowska tablica detektorów. W tym przypadku ma miejsce zÅ‚o- żenie dwóch skÅ‚adowych: ruchu wzdÅ‚użnego sprzężonych ze sobÄ… Rys. 3. Niektóre parametry charakteryzujÄ…ce tomografiÄ™ CT lampy i detektora liniowego, pozwa- lajÄ…cego dokonać jednej projekcji oraz ruchu okrężnego szÄ… konstrukcjÄ™ ukÅ‚adu. RozwiÄ…zanie to jest stosowane wokół punktu centralnego, który to ruch pozwala zebrać w sytuacjach, gdzie czas jest wartoÅ›ciÄ… krytycznÄ…. wszystkie potrzebne do zrekonstruowania obrazu projek- JednostkÄ… obrazu przestrzennego 3D jest voxel cje. W ukÅ‚adzie tym wiÄ…zkÄ™ promieniowania X ogranicza volumetric element (odpowiednik piksela dla obrazu 2D), siÄ™ za pomocÄ… odpowiedniej przesÅ‚ony do wiÄ…zki pÅ‚askiej. któremu odpowiada Å›rednica przedmiotu d podzielona Obraz badanego obiektu otrzymuje siÄ™ skanujÄ…c go z pe- przez liczbÄ™ pikseli N (V = d/N) rys. 3. wnym krokiem przesuwu obiektywu w górÄ™, za każdym Rozmiar voxela może być scharakteryzowany w nawiÄ…- krokiem wykonujÄ…c obrót o 360°. WykonujÄ…c obrót obiek- zaniu do piksela P i powiÄ™kszenia M jako iloraz V = P/M, tu o 360° otrzymuje siÄ™ pÅ‚aski obraz rentgenowski jed- gdzie: M = FDD/FOD (rys. 3). nego przekroju mierzonego detalu. PeÅ‚en obraz trójwy- miarowy otrzyma siÄ™ po dokonaniu komputerowej rekon- Główne zespoÅ‚y strukcji, przetwarzajÄ…c zgromadzone z pomiarów dane. ukÅ‚ad z wiÄ…zkÄ… stożkowÄ…. WiÄ…zka promieniowania Główne zespoÅ‚y tomografu to: lampa rentgenowska 1 uformowana jest w stożek. yródÅ‚em promieniowania jest (rys. 4) i jej zasilacz, ukÅ‚ad pozycjonujÄ…cy mierzony ele- lampa rentgenowska o napiÄ™ciu najczęściej w prze- ment 2 skÅ‚adajÄ…cy siÄ™ zwykle z obrotowego stoÅ‚u pomia- dziale 225 ÷ 450 kV. W ukÅ‚adzie tym badany obiekt znaj- rowego i prowadnicy liniowej oraz system detektorów 3 duje siÄ™ na stole obrotowym, poruszajÄ…cym siÄ™ wzglÄ™- czÄ™sto w postaci matrycy (panelu). dem nieruchomych: lampy i matrycy detektorów. Stosu- DziaÅ‚anie matrycy detektorów może wykorzystywać ró- jÄ…c przestrzennÄ… wiÄ…zkÄ™ rentgenowskÄ… (rys. 2) i detektor żne zjawiska fizyczne, np. jonizacjÄ™ gazów. W najnowszej matrycowy, po wykonaniu przez obiekt peÅ‚nego obrotu tomografii stosuje siÄ™ detektory natężenia promieniowa- o 360°, otrzymuje siÄ™ jeden przekrój caÅ‚ego przed- nia rentgenowskiego, zwane detektorami scyntylacyjny- miotu. mi, które dziaÅ‚ajÄ… na pÅ‚ytach amorficznych krzemu i se- lenu. Główne parametry detektorów promieniowania rent- genowskiego charakteryzujÄ…: wydajność detekcji, ener- getyczna zdolność rozdzielcza, stabilność pomiarów w czasie, bezwÅ‚adność, rozdzielczość przestrzenna detekcji, kontrastowość obrazu, odporność na zniszcze- nie przez napromieniowanie i szumy wÅ‚asne. W wiÄ™k- szoÅ›ci tomografów stosowane sÄ… detektory matrycowe, które osiÄ…gajÄ… rozdzielczość 1024 × 1024 pikseli, co odpowiada rozdzielczoÅ›ci przestrzennej obrazu wy- noszÄ…cej ponad miliard vokseli (10243). WystÄ™pujÄ… tak- że detektory matrycowe o rozdzielczoÅ›ci wynoszÄ…cej 2048 × 2048. Rys. 2. Schemat ukÅ‚adu z wiÄ…zkÄ… stożkowÄ… DokÅ‚adność koÅ„cowego odwzorowania zależy od liczby projekcji wykonanych dla peÅ‚nego obrotu detalu (mini- mum cztery na każdy stopieÅ„ obrotu). W ten sposób, majÄ…c obrazy projekcji dla wielu przekrojów elementu, dokonuje siÄ™ rekonstrukcji obrazu caÅ‚ego elementu za pomocÄ… transformaty Radona [2]. Pozwala ona na od- tworzenie obrazu trójwymiarowego obiektu z wielu rzutów tego przedmiotu. Metoda ta jest obecnie najczęściej wy- korzystywana w przemysÅ‚owej tomografii komputerowej Rys. 4. Główne zespoÅ‚y tomografu komputerowego CT na przy- ze wzglÄ™du na szybkość rekonstrukcji obrazu oraz prost- kÅ‚adzie tomografu METROTOM firmy C. Zeiss 114 MECHANIK NR 2/2011 Lampa rentgenowska (rys. 5) emituje promienie X. nych lamp odpowiednio 0,25 i 0,8 µm, a maksymalny Jest to baÅ„ka próżniowa z zatopionymi elektrodami: ano- prÄ…d 30 i 50 µA. Okno wyjÅ›ciowe lampy wykonane jest dÄ… i katodÄ… w postaci wolframowej spirali (w tzw. jonowej z berylu. OdlegÅ‚ość od ogniska do przedmiotu wynosi lampie rentgenowskiej baÅ„ka wypeÅ‚niona jest gazem pod 0,5 mm. KÄ…t rozwarcia wiÄ…zki wynosi 140°. NapiÄ™cie ciÅ›nieniem rzÄ™du 10-3 Tr). maksymalne lampy 350 kV, a moc turbopompy 500 W. Masa lampy wynosi 72 kg, jednostki kontrolnej 8 kg, a pompy próżniowej 10,5 kg. Natomiast lampa oferowana przez niemieckÄ… firmÄ™ Yxlon [10] zbudowana jest z poÅ‚Ä…czenia dwóch oddziel- nych lamp: transmisyjnej i kierunkowej (rys. 7). NapiÄ™cie zasilania obu z nich wynosi 225 kV. PrzeÅ‚Ä…czanie trybu pracy miÄ™dzy nimi może odbywać siÄ™ w trakcie pomiaru, dziÄ™ki czemu uzyskuje siÄ™ wÅ‚aÅ›ciwoÅ›ci cechujÄ…ce oba rodzaje lamp. Dla lampy transmisyjnej sÄ… to: duże powiÄ™- kszenie geometryczne i maÅ‚e wymiary ogniska lampy. Natomiast dla lampy kierunkowej: duża energia promie- niowania, która pozwala na wnikanie w materiaÅ‚y o dużej Rys. 5. Schemat dziaÅ‚ania lampy rentgenowskiej: K żarzona kato- gÄ™stoÅ›ci. da, A anoda, Win i Wout wlot i wylot cieczy (C) chÅ‚odzÄ…cej anodÄ™ Ważniejsze parametry lampy FXE-225.99 Twin Head [Wikipedia] sÄ… nastÄ™pujÄ…ce: ' transmisyjnej: napiÄ™cie zasilania 225 kV, Wysokie napiÄ™cie przyÅ‚ożone do elektrod przyspiesza maksymalna wartość prÄ…du anodowego 1 mA, dodatnie jony (jonowa lampa rentgenowska) lub elektrony moc maksymalna 64 W, które odrywajÄ… siÄ™ z katody (elektronowa lampa rent- maksymalna moc cieplna anody 10 W, genowska); czÄ…stki te bombardujÄ… elektrodÄ™ (odpowied- wymiary ogniska lampy od 2 µm, nio: antykatodÄ™ jonowa lampa rentgenowska lub anodÄ™ rozpoznawanie szczegółów od 0,5 µm, elektronowa lampa rentgenowska), emitujÄ… promienio- minimalna odlegÅ‚ość FOD (lampa-detektor) 250 µm; wanie hamowania, bÄ™dÄ…ce strumieniem kwantów promie- ' kierunkowej: niowania X o ciÄ…gÅ‚ym widmie energetycznym. napiÄ™cie zasilania 225 kV, Promieniowanie hamowania powstaje w wyniku od- maksymalna wartość prÄ…du anodowego 3 mA, dziaÅ‚ywania czÄ…stki z polami elektrostatycznymi jÄ…der moc maksymalna 320 W, i elektronów w materii, z której wykonana jest anoda. maksymalna moc cieplna anody 280 W, Elektrony zderzajÄ…c siÄ™ z anodÄ… sÄ… w niej hamowane, co wymiary ogniska lampy od 6 µm, powoduje powstawanie promieniowania X. Jednak 99% rozpoznawanie szczegółów od 3 µm, energii elektronów jest zamieniane w ciepÅ‚o stÄ…d konie- kÄ…t rozwarcia wiÄ…zki 30°, czność chÅ‚odzenia lampy. ChÅ‚odzenie zapewnia ciecz minimalna odlegÅ‚ość FOD (Focus to Object Distance) chÅ‚odzÄ…ca lub wirujÄ…ca anoda. Istnieje wiele mechaniz- 6,75 mm. mów powstawania promieni rtg, a wiÄ™c wiele rodzajów Lampa ta ma możliwość pracy w trybach o dużej lamp rtg (bogatÄ… kolekcjÄ™ lamp rentgenowskich zgro- rozdzielczoÅ›ci obrazu, dużej energii promieniowania X madzonÄ… przez dr. G. Jezierskiego można znalezć na i wiÄ…zki o ksztaÅ‚cie stożkowym. Ma ona również zaimple- www.xraylamp.webd.pl). mentowanÄ… technikÄ™ TXI (True X-ray Intensity Control), PrzykÅ‚ady lamp rentgenowskich: jednÄ… z lamp rent- umożliwiajÄ…cÄ… stabilizacjÄ™ intensywnoÅ›ci promieniowania genowskich firmy Hamamatsu przedstawiono rys. 6, a na X w czasie trwania pomiaru. rys. 7 firmy Yxlon. Lampa rentgenowska firmy Hamamatsu o symbolu Zestaw obrotowo-przesuwny (rys. 8) skÅ‚ada siÄ™ L10711 ma budowÄ™ otwartÄ… typu transmisyjnego. Wy- z obrotowego stoÅ‚u sterowanego cyfrowo i liniowego ukÅ‚a- stÄ™pujÄ… dwie odmiany tej lampy o symbolu S i W. du przemieszczania, który sÅ‚uży do ustawiania w okreÅ›- Maksymalne napiÄ™cie lampy S wynosi 110 kV, a lampy lonej odlegÅ‚oÅ›ci przedmiotu miÄ™dzy lampÄ… rentgenowskÄ… o symbolu W 162 kV. MateriaÅ‚em katody lampy S jest a matrycÄ… detektorów. monokrysztaÅ‚ szeÅ›cioborku lantanu (LaBe6), lampy W UkÅ‚ad pozycjonowania w wiÄ™kszoÅ›ci tomografów skÅ‚a- wolfram. Minimalna rozdzielczość wynosi dla wymienio- da siÄ™ ze stoÅ‚u obrotowego, na którym umieszczony jest badany obiekt i prowadnic pozycjonujÄ…cych stół obrotowy Rys. 6. Lampa rtg o symbolu L10711 firmy Rys. 8. PrzykÅ‚adowy zestaw obrotowo- Hamamatsu Rys. 7. Lampa rtg FXE-225.99 firmy Yxlon -przesuwny MECHANIK NR 2/2011 115 wzglÄ™dem zródÅ‚a promieniowania i detektora. Dodatkowo, a) b) w tomografach z dużymi zakresami pomiarowymi, zródÅ‚o promieniowania i detektor umieszczone sÄ… na prowad- nicach. StoÅ‚y obrotowe charakteryzujÄ… siÄ™ nastÄ™pujÄ…cymi głów- nymi parametrami: dokÅ‚adnoÅ›ciÄ… pozycjonowania, która zawiera siÄ™ w przedziale od części do kilkunastu µrad, przy rozdzielczoÅ›ci 0,2 ÷ 10 µrad. Åšrednica stoÅ‚u obro- towego 200 ÷ 300 mm, przy obciążeniu stoÅ‚u masÄ… przed- miotu dochodzÄ…cÄ… nawet do 100 kg. Rys. 10. PrzykÅ‚ady liniowych prowadnic: a) firmy GMT GLOBAL, b) firmy Aerotech Od prowadnicy liniowej, sÅ‚użącej do ustawiania odlegÅ‚o- Å›ci przedmiotu miÄ™dzy lampÄ… rentgenowskÄ… a matrycÄ… w osi Y Ä… 2500 mm. DokÅ‚adność przemieszczenia wynosi detektorów nie wymaga siÄ™ takiej dokÅ‚adnoÅ›ci, jak od stoÅ‚u 0,025 mm, a powtarzalność 0,003 mm. pomiarowego. Zwykle jej zakres przemieszczeÅ„ nie prze- Rys.10b pokazuje ukÅ‚ad przesuwny liniowy o symbolu kracza 250 mm, z dokÅ‚adnoÅ›ciÄ… wynoszÄ…cÄ… 0,025 mm, LMA jako actuator firmy Aerotech z zastosowanym przy powtarzalnoÅ›ci pozycjonowania Ä… 0,003 mm. bezstykowym ukÅ‚adem pomiarowym. Główne parametry Głównymi zródÅ‚ami bÅ‚Ä™dów w ukÅ‚adach pozycjonowania to: zakresy pomiarowe 100 ÷ 1000 mm, rozdzielczość tomografów sÄ…: pochylenie detektora, zmiana poÅ‚ożenia i pochylenie osi obrotu stoÅ‚u obrotowego. Pierwsze z nich jest wyeliminowane, gdyż detektor znajduje siÄ™ w staÅ‚ej pozycji. Dlatego ważny jest dobór stoÅ‚u obrotowego z mo- Matryca z sensorami żliwie najmniejszym osiowym bÅ‚Ä™dem pozycjonowania Lampa przesuwna i pochylenia powierzchni pomiarowej stoÅ‚u. PrzykÅ‚adem stoÅ‚u obrotowego jest ABRS-250MP (rys. 9) amerykaÅ„skiej firmy Aerotech [11]. Aożyskowanie Stolik obrotowo- aerostatyczne i silnik skokowy z enkoderem optycznym przesuwny zapewniajÄ… dużą dokÅ‚adność i rozdzielczość ruchu obro- towego. Wykonany jest on z aluminium, co obniża jego masÄ™ caÅ‚kowitÄ… przy wystarczajÄ…cej noÅ›noÅ›ci. Stolik ten przeznaczony jest do zastosowaÅ„ w pomiarach optycz- nych, radiograficznych czy elementów MEMS. Rys. 11. Tomograf vćłtomećłx L450 firmy Phoenix-xray 0,1 i 1 µm, dokÅ‚adność Ä… 1 µm/25 mm, a) b) powtarzalność Ä… 0,5 µm, prÄ™dkość przesuwu 5 m/s, a przyspiesze- nie 3g. Tomografy majÄ… w zasadzie staÅ‚e poÅ‚ożenia lampy i matrycy detekto- rów, sÄ… jednak takie, które pozwala- jÄ… na ustawianie lampy i matrycy wzglÄ™dem przedmiotu, co zmniej- sza wymagania odnoÅ›nie do zakre- sów pomiarowych ukÅ‚adu obroto- wo-przesuwnego stoÅ‚u. Na rys. 11 przedstawiono jeden z takich tomo- Rys. 9. PrzykÅ‚ady obrotowych stołów pomiarowych: a) firmy Aerotech, b) firmy C. Zeiss grafów o symbolu vćłtomećłx L450 Parametry stoÅ‚u obrotowego ABRS-250MP sÄ… nastÄ™pu- z przesuwnÄ… lampÄ… i przesuwnÄ… matrycÄ… z sensorami. jÄ…ce: Jest to tomograf firmy Phoenix-xray [12]. dokÅ‚adność pozycjonowania 0,4 µrad, Detektor jest przetwornikiem, który zamienia prze- rozdzielczość ruchu 0,2 µrad, chodzÄ…ce przez obiekt promieniowanie, zawierajÄ…ce in- powtarzalność pozycjonowania 0,2 µrad, formacje o badanym obiekcie, na sygnaÅ‚ elektryczny bÅ‚Ä…d przesuniÄ™cia osi 0,1 µm, nadajÄ…cy siÄ™ do dalszego przetwarzania [6]. System de- bÅ‚Ä…d pochylenia powierzchni stolika 2,4 µrad, tekcji może skÅ‚adać siÄ™ z: pojedynczego elementu skanu- Å›rednica stoÅ‚u 228 mm, jÄ…cego, liniowego ukÅ‚adu elementów lub powierzchniowe- noÅ›ność 66 kg. go ukÅ‚adu elementów skanujÄ…cych. Jest to bardzo ważny Stół obrotowy firmy C. Zeiss ma rozdzielczość 0,0443 element ukÅ‚adów wykorzystywanych w pomiarach tomo- i jest Å‚ożyskowany aerostatycznie. Charakteryzuje siÄ™ on graficznych, ponieważ od detektorów w dużym stopniu stosunkowo maÅ‚ymi odchyÅ‚kami odchyleÅ„ osi obrotu, zależy jakość obrazu badanego obiektu, czas projekcji które wynoszÄ…: bicie osiowe fa = 0,1, bicie promieniowe i wydajność pomiarów. fr = 0,2 µm, bÅ‚Ä…d zataczania ft = 0,23 . Powtarzalność pozy- DziaÅ‚anie detektorów polega na wykorzystaniu różnych cji kÄ…towej 0,53 . zjawisk fizycznych [6]: Liniowe ukÅ‚ady przesuwne przedstawione sÄ… na rys. 10. jonizacji gazu, Na rys. 10a przedstawiona jest prowadnica XY o sym- matrycowe na bazie amorficznego krzemu, bolu GXY40 firmy GMT GLOBAL Inc. (Tajwan). Ma ona zakresy pomiarowe wynoszÄ…ce: w osi X Ä… 200 mm, półprzewodnikowe, 116 MECHANIK NR 2/2011 scyntylacyjne, tranzystory, wzmacniany i przetwarzany za pomocÄ… prze- konstruowane w technologii opartej na wykorzysta- twornika A/C na sygnaÅ‚ cyfrowy. niu elektrycznych lub magnetycznych zjawisk w ciaÅ‚ach Innym rozwiÄ…zaniem w budowie detektorów promienio- staÅ‚ych. wania X jest bezpoÅ›rednie przetwarzanie z amorficznego krzemu (rys.14). Fotodiody bezpoÅ›rednio przetwarzajÄ… Obecnie dominujÄ… detektory scyntylacyjne, których fotony promieniowania rentgenowskiego na elektrony, schemat przedstawiono na rys. 12. dziÄ™ki czemu unika siÄ™ rozpraszania Å›wiatÅ‚a (co ma miejs- ce w poprzedniej konstrukcji detektora). Półprzewodnik jest umieszczony na mikroelektrodach znajdujÄ…cych siÄ™ w silnym polu elektrycznym. Promieniowanie generuje Å‚adunki, które sÄ… magazynowane w mikrokondensato- rach. Każdy z tych kondensatorów podÅ‚Ä…czony jest do tranzystora dziaÅ‚ajÄ…cego jak wzmacniacz, generujÄ…cy na- piÄ™cie proporcjonalne do Å‚adunku wytworzonego przez piksele. Spotyka siÄ™ także detektory półprzewodnikowe, w któ- rych wykorzystuje siÄ™ jonizacjÄ™ w ciele staÅ‚ym. Przy- Rys. 12. Schemat budowy detektora scyntylacyjnego typu matryco- kÅ‚adem jest detektor, w którym odpowiedni krysztaÅ‚, np. wego [6] siarczku kadmu CdS, zwiÄ™ksza swojÄ… przewodność pod Promieniowanie rtg, padajÄ…c na krysztaÅ‚ scyntylacyjny, dziaÅ‚aniem promieniowania jonizujÄ…cego. Polega to na wywoÅ‚uje zjawisko fotoelektryczne, podczas którego foto- zmianach natężenia prÄ…du pÅ‚ynÄ…cego w obwodzie, do ny promieni X wybijajÄ… elektrony z orbit, te zaÅ› zamienia- którego wÅ‚Ä…czono detektor CdS; zmienia siÄ™ ono w zależ- ne sÄ… na rozbÅ‚yski Å›wiatÅ‚a. Obecnie najczęściej stosuje noÅ›ci od padajÄ…cego na detektor promieniowania. Detek- siÄ™ dwa typy detektorów wykorzystujÄ…cych pÅ‚yty z amor- tory półprzewodnikowe charakteryzujÄ… siÄ™ prostÄ… konstruk- ficznego krzemu (a-Si) i z amorficznego selenu (a-Se). cjÄ…, stabilnoÅ›ciÄ… pracy, dużą czuÅ‚oÅ›ciÄ… i dużą zdolnoÅ›ciÄ… Scyntylator przeksztaÅ‚ca promieniowanie X w promie- rozdzielczÄ… przy pomiarach energii promieniowania. niowanie widzialne, które Å‚aduje fotodiody [3, 4]. Foto- W literaturze wymienia siÄ™ nastÄ™pujÄ…ce parametry opi- diody sÄ… odczytywane przez tranzystory cienkowarstwo- sujÄ…ce jakość pomiarów osiÄ…ganych przez różne detek- we (TFT) na podÅ‚ożu amorficznego krzemu odpornego na tory promieniowania rentgenowskiego [2]: promieniowanie, który przez rozpraszanie Å›wiatÅ‚a daje wydajność detekcji, pewnÄ… dodatkowÄ… nieostrość (rys. 13). W celu wyelimino- energetyczna zdolność rozdzielcza, wania tego zjawiska na powierzchni fotodiod stosuje siÄ™ stabilność pomiarów w czasie, igieÅ‚kowe krysztaÅ‚y jodku cezu (CsI) poprawiajÄ…ce roz- bezwÅ‚adność, dzielczość przestrzennÄ…; przewodzÄ… one Å›wiatÅ‚o do foto- rozdzielczość przestrzenna detekcji, diod, jak Å›wiatÅ‚owody. RozbÅ‚yski Å›wiatÅ‚a wywoÅ‚ane przez odporność na zniszczenie przez napromieniowanie, scyntylatory rejestrowane sÄ… przez fotodiody. NastÄ™pnie kontrastowość obrazu, sygnaÅ‚ elektryczny z fotodiod rejestrowany jest przez szumy wÅ‚asne detektorów. Rys. 13. Schemat budowy detektora z amorficznego krzemu z ekranami fluoroscencyjnymi [6] Rys. 14. Schemat budowy detektora bezpoÅ›rednio przetwarzajÄ…cego z amorficznego krzemu [6] MECHANIK NR 2/2011 117 wykrywać szczegóły wad materiałów aluminiowych, tyta- nu i ze stali szlachetnej. Natomiast panele XRD 01640 pozwalajÄ… na wykrywanie szczegółów w kontroli auto- matycznej części odlewanych. Rys. 15. Panel detek- Wymienione główne zespoÅ‚y skÅ‚adajÄ… siÄ™ na tomograf torów XRD0120 firmy komputerowy CT, chociaż pominiÄ™to tutaj takie zespoÅ‚y, jak Yxlon np.: ukÅ‚ad sterujÄ…cy, obudowa zabezpieczajÄ…ca przed pro- mieniowaniem, jednostki komputerowe (zwykle sÄ… dwie lub trzy o różnych parametrach) oraz odpowiednie oprogramo- wanie zapewniajÄ…ce wykonanie nastÄ™pujÄ…cych funkcji: wyznaczanie i analiza wymiarów w zakresie standar- PrzykÅ‚ady detektorów matrycowych. Na rys. 15. dowej geometrii wymiarów, przedstawiono widok panelu detektorów o symbolu porównywanie wyników z modelem CAD, XRD01620 niemieckiej firmy Yxlon [10]. Jego parame- wykrywanie wad materiaÅ‚u defektoskopia, try to: przetwarzanie wyników na potrzeby inżynierii odwro- rozdzielczość 2048 × 2048 pikseli, tnej (Rewers Engineering). wymiar piksela 200 × 200 µm, powierzchnia detektorów 400 × 400 mm2, LITERATURA szybkość przetwarzania obrazu 3,5 klatek/s., 16-bitowy przetwornik analogowo-cyfrowy, 1. E. RATAJCZYK: WspółrzÄ™dnoÅ›ciowa technika pomiarowa. Ofi- cyna Wydawnicza Politechniki Warszawskiej Warszawa 2005. praca w zakresie temperatury 15 ÷ 35°C, 2. R. CIERNIAK: Tomografia komputerowa. Budowa urzÄ…dzeÅ„ CT. dopuszczalny zakres napięć zródÅ‚a promieniowania Algorytmy rekonstrukcyjne. Akademicka Oficyna Wydawnicza 40 V ÷ 15 MV. EXIT Warszawa 2005. Ważniejsze parametry paneli detektorów firmy Yxlon 3. G. JEZIERSKI: Radiografia przemysÅ‚owa. WNT Warszawa 1993. podano w tablicy. 4. J. KIELCZYK: Radiografia przemysÅ‚owa. Wydawnictwo Gamma. Warszawa 2006. TABLICA. Parametry wybranych paneli detektorów serii XRD firmy Yxlon 5. A. LEWICSKA-ROMICKA: Badania nie- niszczÄ…ce. Podstawy defektoskopii. WNT Y. Panel XRD Y. Panel XRD Y. Panel XRD Y. Panel XRD Warszawa 2001. 0820 Composite 01620 Universal 0840 Universal 01640 Universal 6. A. WECKENMANN, P. KRÄMER: 3D Co- Parametry paneli detektorów firmy YXLON mputed tomography for dimensional met- rology. Proc. Coordinate Measuring Tech- nique. University of Bielsko-BiaÅ‚a 2008, Sensor p. 37 ÷ 44. 7. H. LETTENBAUER: Metrotomography Aktywne piksele 1000 × 1000 2000 × 2000 500 × 500 1000 × 1000 high precision CT Metrology in a dimen- Powierzchnia użytkowa 200 × 200 mm2 400 × 400 mm2 200 × 200 mm2 400 × 400 mm2 sion. Proc. Konf.Coordinate Measuring Rozmiar piksela 200 µm 200 µm 400 µm 400 µm Technique. University of Bielsko-BiaÅ‚a Detektor 2010, p. 57 ÷ 64. Zakres energii 15 keV ÷ 160 keV 40 keV ÷ 15 MeV 40 keV ÷ 225 keV 40 keV ÷ 15 MeV 8. E. RATAJCZYK: Tomografia komputero- wa w pomiarach geometrycznych 3D. Maksymalna liczba klatek na s 7,5 3,5 15 15 Proc. Kongres Metrologii. Aódz 2010. Konwersja 16 bitowa 16 bitowa 16 bitowa 16 bitowa 9. M. BARTSCHER, U. HILPERT, J. GÖB- Warunki Å›rodowiskowe BELS, G. WEIDEMANN: Enhancement and Temperatura pracy +15° C ÷ +35° C +15° C ÷ +35° C +15° C ÷ +35° C +15° C ÷ +35° C Proof of Accuracy of Industrial Computed Tomography (CT) Measurements. Annals Wilgotność powietrza 30% ÷ 70% 30% ÷ 70% 30% ÷ 70% 30% ÷ 70% of the CIRP. Elsevier Vol. 56/1, 2007, Wymiary 335 × 320 × 2 mm 672 × 599 × 44 mm 335 × 320 × 52 mm 672 × 599 × 44 mm p. 495 ÷ 498; (M. SZAFARCZYK: Tomogra- Masa 16 kg 25 kg 16 kg 25 kg fia komputerowa w pomiarach przemysÅ‚o- wych. Mechanik nr 7/2008, s. 606). Panele detektorów XRD 0820 majÄ… zastosowanie głó- 10. www.yxlon.com, www.eis.poznan.pl 11. www.aerotech.com wnie do elementów z materiałów polimerowych, a panele 12. www.phoenix-xray.com XRD 01620 do przedmiotów, w których zamierza siÄ™