Pytanie 28:

Zjawiska towarzyszące

bombardowaniu ciała

stałego elektronami i

jonami

Zjawiska towarzyszące

bombardowaniu ciała

stałego elektronami

•Odbijanie elektronów
•Wybijanie elektronów
•Generacja fotonów
•Parowanie atomów

Zjawiska towarzyszące

bombardowaniu ciała

stałego elektronami

• Wnikanie elektronów w głąb ciała

stałego

– Rozpraszanie energii
– Defektowanie
– Reakcje chemiczne

Zjawiska towarzyszące

bombardowaniu ciała

stałego jonami

• Wybijanie elektronów wtórnych
• Generacja fotonów
• Odbijanie jonów
• Odbijanie cząstek neutralnych
• Wybijanie jonów

Zjawiska towarzyszące

bombardowaniu ciała

stałego jonami

•Wybijanie atomów

rozpylanie w celu:
•Nanoszenie warstw
•Trawienie jonowe

Zjawiska towarzyszące

bombardowaniu ciała

stałego jonami

•Implantacja jonowa

– Rozpraszanie energii
– Reakcje chemiczne
– Defektowanie
– Wtrącenie-ulokowanie atomów w c.s.