122012

SKANINGOWA MIKROSKOPIA ELEKTRONOWA

KOLUMNA MIKROSKOPU

Kolumna w mikroskopie skaningowym składa się z:

-    działa elektronowego,

-1-3 soczewek skupiających wiązkę,

-    cewek odchylenia wiązki,

-    komory preparatu,

-    detektorów elektronów,

-    promieniowania elektromagnetycznego DZIAŁO ELEKTRONOWE

Działo elektronowe służy do wytwarzania wiązki elektronów i znajduje sie na szczycie kolumny mikroskopu.

Rozróżniamy następujące działa elektronowe:

-    z katodą wolframową,

-    LaB6 (lanthanum hexaboride),

-    z zimną emisją połową,

SOCZEWKI ELEKTROMAGNETYCZNE W KOLUMNIE SEM Soczewka elektromagnetyczna składa się z cewki zasilanej prądem stałym obudowanej płaszczem z materiału ferromagnetycznego. W środkowej części płaszcza znajduje się szczelina, która uniemożliwia pełne zamknięcie pola magnetycznego w płaszczu ferromagnetycznym. Końce tej szczeliny są biegunami magnesu, wokół którego układają się linie sił pola elektromagnetycznego. Kształt tych linii jest ustalany przez nabiegunniki soczewki.

MONITOR

Obraz w mikroskopie skaningowym jest emitowany na ekranie monitora. Uzyskany w ten sposób obraz jest interpretowany tak jak przy zdjęciach fotograficznych albo obrazach otrzymanych z innych mikroskopów. Obraz otrzymany w wyniku detekcji elektronów wtórnych jest obrazem bezcieniowym. Do fotografowania struktury używany jest często osobny ekran fotograficzny.

KONTRAST OBRAZU W MIKROSKOPIE SKANINGOWYM W mikroskopach skaningowych do tworzenia obrazu stosuje się elektrony oraz promieniowanie elektromagnetyczne. Do badania powierzchni próbki stosuje się obrazy elektronów wtórnych i wstecznie rozproszonych. Elektrony posiadają różną energię, wiec, aby je wychwycić stosuje się różne typy detektorów i to powoduje różnicę w kontraście obrazu próbki. Kontrast obrazu może być kontrolowany w procesie detekcji i przetwarzania sygnałów.

■    Kontrast spowodowany zróżnicowaną topografią powierzchni próbki

■    Kontrast materiałowy

■    Kontrast napięciowy

■    Kontrast magnetyczny POWIĘKSZENIE

Powiększenie w mikroskopie skaningowym to stosunek wymiaru boku ekranu do boku obszaru omiatanego na próbce przez wiązkę elektronów.

ROZDZIELCZOŚĆ

Zdolność rozdzielcza mikroskopu zależy przede wszystkim od średnicy wiązki: im mniejsza średnica wiązki, tym większą uzyskuje się rozdzielczość obrazu. Na ogół jednak, powiększenia uzyskiwane za pomocą mikroskopu skaningowego nie przekraczają jednak kilkudziesięciu tysięcy razy. Są znacznie mniejsze niż w przypadku mikroskopów prześwietleniowych.