9965379465

Analiza możliwości pomiarów nanotopografii li

ono wprost proporcjonalne do długości fali, a co za tym idzie, prążki rzędu n > 1 dla różnych kolorów światła są przesunięte względem siebie (rys. 8).

Prążki od światła

Rys. 8. Położenie prążków interferencyjnych dla światła o różnych długościach fal [14]

Fig. 8. Sets of fringes for different wavelengths of light [14]

Maksymalne natężenie prążków interferencyjnych występuje, jeżeli drogi optyczne wiązki odbitej od powierzchni referencyjnej i powierzchni badanej są sobie równe. Dlatego, aby zbadać powierzchnię, obiektyw interferometru musi się poruszać w pionie; stąd nazwa tej metody. Ruch ten jest wykonywany dzięki skanerowi z elementu piezoelektrycznego. Nałożenie prążków od różnych fal powoduje szybki spadek natężenia sygnału, co widać na rys. 9.

Rys. 9. Suma sygnałów o różnej długości fali tworzy zestaw prążków o szybko malejącej modulacji [14]

Fig. 9. The sum of all interference signals form a fringe pattern with ąuickly decreasing modulation [14]

Obraz topografii powierzchni tworzony jest dzięki wykorzystaniu warunku na maksymalne natężenie prążków, czyli równości dróg optycznych.