F2-18
Struktury technologiczne inwertera CMOS
a – z jamą
p
– struktura klasyczna
b – z jamą
n
– struktura ulepszona,
kompatybilność technologii NMOS/CMOS
c – z jamami
p
i
n
– struktura najnowsza,
niezależna optymalizacja profili domieszkowania,
największa szybkość i gęstość scalenia
© J. Kalisz, WAT, 2006