Pytanie 28:

Zjawiska towarzyszące 

bombardowaniu ciała 

stałego elektronami i 

jonami

 

 

Zjawiska towarzyszące 

bombardowaniu ciała 

stałego elektronami

•Odbijanie elektronów
•Wybijanie elektronów
•Generacja fotonów
•Parowanie atomów

 

 

Zjawiska towarzyszące 

bombardowaniu ciała 

stałego elektronami

• Wnikanie elektronów w głąb ciała 

stałego

– Rozpraszanie energii
– Defektowanie
– Reakcje chemiczne

 

 

Zjawiska towarzyszące 

bombardowaniu ciała 

stałego jonami

• Wybijanie elektronów wtórnych
• Generacja fotonów
• Odbijanie jonów
• Odbijanie cząstek neutralnych
• Wybijanie jonów 

 

 

Zjawiska towarzyszące 

bombardowaniu ciała 

stałego jonami

•Wybijanie atomów

rozpylanie w celu:
•Nanoszenie warstw
•Trawienie jonowe

 

 

Zjawiska towarzyszące 

bombardowaniu ciała 

stałego jonami

•Implantacja jonowa

– Rozpraszanie energii
– Reakcje chemiczne
– Defektowanie
– Wtrącenie-ulokowanie atomów w c.s.