Czujniki piezorezystancyjne wykorzystują efekt zmiany rezystancji materiału pod wpływem działającego ciśnienia. Czujnik ten posiada płaską metalową membranę i zespół tensometrów (piezorezystorów) w układzie pełnego mostka.
W czujnikach takich (Rys.3) cienka membrana krzemowa, ugina się pod wpływem oddziaływania ciśnienia cieczy lub gazów. W ugiętej membranie zostają wytworzone silne powierzchniowe naprężenia rozciągająco-ściskające. W polu tych naprężeń są umieszczone monolityczne piezorezystory, połączone w układ mostka Wheatstone'a tak, aby otrzymać w nich dodatnie i ujemne zmiany rezystancji wywołane efektem piezorezystancyjnym. Z przyczyn technologicznych piezorezystory w mostku Wheatstone'a w czujnikach mikromechanicznych cechuje rozrzut ich rezystancji, zwykle około ±0,05 % ich wartości znamionowej. Rozrzut ten powoduje powstanie napięcia niezrównoważenia mostka tensometrycznego U0. W typowych czujnikach zasilanych stałym napięciem 5 V sygnał pełnego zakresu UFSO (FSO - Full Scale Output) wynosi około 100 mV, a U0 od kilku do kilkudziesięciu miliwoltów. Rozkład naprężeń i ułożenie piezorezystorów są uzależnione od kształtu membrany i wzmocnień na niej uformowanych [1,2]. Mostek zastosowany w czujniku CL1 jest zrównoważony i skompensowany termicznie. Czujnik może być stosowany w laboratoriach oraz w przemyśle do budowy dokładnych torów pomiaru względnych ciśnień statycznych i wolnozmiennych w nieagresywnych chemicznie cieczach oraz gazach. Szczególnie zalecany jest do przetwarzania ciśnień na sygnał elektryczny w układach automatyki hydraulicznej i przemysłowych magistralach pneumatycznych [3].