Zdjęcie006 (3)

Metoda spektroskopii elektronów Augera A£S (Anger Electron Spec troscopy)

Wybicie elektronu z rdzenia atomowego powoduje przeskok elekironu z wakacyjnego pasma na miejsce po nim pozostawione. Musi być z tym związane wydzielenie energii, które zachodzić może poprzez emisję kwantu promieniowania X (flubrescencja) lub przekazanie odpowiedniej energii innemu elektronowi (Augera) z pasma walencyjnego.

W drugim przypadku elektron, który uzyskał dodatkową energię opyszcza atom. Wartość tej energii kinetycznej zależy od energii przejść orbitalnych elektronów biorących udział w procesie, charakteryzując w ten sposób skład obszaru, który został poddany działaniu promieniowania X łub bombardujących elektronów.

Prawdopodobieństwo z jakim zachodzą konkurencyjne procesy fluoresccncjj i etniąji elektronów Augera zależy od liczb atomowych składników powierzchni i różnicy energii wiązania biorących udział w procesie elektronów.

Analiza widm energetycznych elektronów Augera pozwala na określenie składu powierzchniowych warstw materiałów do grubości 0,5 - 2,0 nm (ok. 5 warstw atomowych) *z. ością 0,1 % ai Podobnie jak w spektrometrii fotoelektronów nie można jednak wykryć wodoru i helu. Do największych zalet metody AES należy szybkie uzyskiwanie danych i duża zdolność rozdzielcza rzędu 0,2 pm.

Przy porównaniu metod AES i ESC A należy zwrócić uwagę, że energia elektronów' Augera nie zależy od energii wiązki padającej, ąatomiast energia kinetyczna fotoelektronów zmienia się w zależności od zmian w pierwotnym _a źródle promieniowania.

Metoda dyfrakcji niskoenergetycznych elektronów LEED ( Low-Energy ElecL**n Diffraction)

LEED jest metodą wyl(OVzystującą rozpraszanie monoenwgetycznej wiązki elektronów o energii 100-500 eV na powierzchnia<'> bijanyćt. materiałów. Głębokość penetracji wiązki elektronów wynosi 3-10 A, a wkład do elastycznej składowej widma energii emitowanych elektronów daje tylko kilka najbliższych powierzchni równoległych do niej warstw atomowych.

Rejestracji elektronów w dyfraktometrach LEED można dokonywać na kliszy lub przy pomocy poruszających si£ detektorów. Interpretacja danych eksperymentalnych pozwala na badanie periody czności struktury powierzchni, składu powierzchniowych warstw, analizy struktur nieuporządkowanych, nie dostarczając jednak podstaw do analizy ilościowej.