źródło elektro nów
soc/eu ki c mngnoi ve /nc
\
prób kii
a port li ra
pr«
a)
Wykorzystywana jest tutaj wiązka elektronów, która przechodząc przez preparat tworzy obraz jego struktury wewnętrznej. Granica rozdzielczości wynosi w tym przypadku nawet 0,15 nm. Źródłem elektronów jest katoda wolframowa, natomiast cały system oświetlający składa się z trój elektrodowej wyrzutni elektronowej zawierającej katodę, cylinder Wehnelta oraz anodę.
Katoda pozostaje pod wysokim ujemnym potencjałem w stosunku do uziemionej anody. Napięcie przyspieszające w TEM wynosi zwykle od 20 do 100 kV. Wyrzutnia elektronowa współpracuje z soczewką magnetyczną, zwaną kondensorem, przy czym może być to układ podwójny składający się z soczewki krótkoogniskowej i długoogniskowej. Zadaniem tego układu jest skupianie opuszczających działo elektronów. Powstaje więc wiązka elektronów, która prześwietla preparat, a następnie trafia w obręb działania pól soczewek elektronowych obiektywu i projektora. Powiększająca soczewka obiektywu wytwarza obraz pośredni w płaszczyźnie przedmiotowej drugiej soczewki (projektora), której zadaniem jest wytworzenie obrazu końcowego widocznego na ekranie pokrytym luminoforem. Obraz jest ostatecznie rejestrowany na płycie lub błonie fotograficznej. Mikroskop elektronowy pracuje w warunkach wysokiej próżni.
źródło cickcronów
Źródłem elektronów jest tu także katoda wolframowa. Przyspieszone elektrony przechodzą przez otwór w anodzie, a następnie biegną przez pierwszą soczewkę redukcyjną, służącą do skupiania linii sił pola. W odróżnieniu od TEM pierwsza soczewka, zamiast tworzyć powiększony obraz redukuje wymiary źródła elektronów. Kolejne soczewki magnetyczne powodują jeszcze większą redukcję źródła (do 5000 razy). Dodatkowo biegnąca między soczewkami wiązka elektronowa poddawana jest działaniu pola magnetycznego, które powoduje jej odchylenie, w wyniku czego wiązka dokonuje analizy liniowej powierzchni badanego preparatu powodując wybicie elektronów wtórnych. Elektrony wtórne przyspieszane i wzmocnione przez kolektor są wykorzystywane jako sygnał dający informacje o danym punkcie preparatu. Sygnał ten trafia na siatkę sterującą lampy obrazowej monitora. SEM daje w porównaniu do TEM większą głębię ostrości, co pozwala na badanie preparatów o nierównej powierzchni. Jednak należy też zauważyć, iż mimo wszystko ma on gorsze zdolności rozdzielcze (około 10 nm).