Rozwój dokładności
1 iim
Uzyskiwana
dokładność
0.1 mm
0.01 mm
i urn -
0.1 firn
0,01 jim
0,001 jim .
(1 nm)
0.3 nm
Wysoko dokładne laserowe urządzenia pomiarowe
Komparatory
elektroniczne
(bezstykowe)
Laserowe
urządzenia
pomiarowe
0.01 nm
Urządzenia
pomiarowe
Suwmiarka
Komparatory
mechaniczne
Komparatory
optyczne
1900 1920 1940
1960 1980 2000
Rok