£KUCMS7 AP S»K*lfcS
Tablica 4.24
Ranking najważniejszych własności powłok ze względu na wymagania produkcyjne i zastosowania użytkowe (według K. Holmberga i A. Matthewsa)
Kolejność
Najważniejsze własności powłok /.c względu na:
' • . ■;ł-.V.;.vs«v ■.
7 porowatość struktura/ińorfologia
S skład chemiczny odporność na pęknięcia
9 naprężenia wewnętrzne grubość
> . â– 'mmmm i
mm
376
takie jak: ciśnienie gazów w komorze pieca, napięcie przyspieszające (polaryzacja podłoża), temperatura procesu, odległość między podłożem a źródłem materiału osadzanego, jak również skład chemiczny powodujący uzyskanie żądanych własności.
Własności powłok wytwarzanych w procesach PVD charakteryzują się wymaganiami:
a własnościami mechanicznymi (adhezja, twardość, naprężenia wewnętrzne, moduł sprężystości wzdłużnej, itp.),
s własnościami fizycznymi (gęstość, przewodność cieplna, współczynnik rozszerzalności cieplnej, temperatura topnienia, współczynnik tarcia, itp.),
« odpornością na zużycie ścierne (własności trybologiczne), a ochroną antykorozyjną, dyfuzyjną i cieplną, a strukturą, składem chemicznym i grubością powłok.
Przyczepność powłoki do podłoża jest jedną z najważniejszych własności powłok wytwarzanych w procesach PVD. Jeżeli jest nieodpowiednia, cała funkcjonalność pokrycia może zostać utracona. Na adhezję cienkich powłok do materiału podłoża wpływ wywierają mikrostruktura materiału, obciążenia zewnętrzne oraz aspekty środowiskowe otoczenia. Adhezja jest stanem, w którym dwie powierzchnie przylegają do siebie w wyniku oddziaływań walencyjnych lub/oraz poprzez połączenie mechaniczne. Adhezja jest silnie związana z czystością i odpowiednim przygotowaniem materiału podłoża przed procesem nakładania powłok. Często towarzyszą jej jednak dyfuzja lub dyfuzyjne przemieszanie atomów pochodzących z powłoki i podłoża w wyniku oddziaływania jonów.
W tablicy 4.24 zestawiono najważniejsze własności powłok nanoszonych w procesach PVD ze względu na wymagania produkcyjne i zastosowanie praktyczne.
wymagania produkcyjne zastosowania praktyczne
I przyczepność własności trybologiczne
3 wygląd zewnętrzny przyczepność
ł odporność korozyjna odporność korozyjna
5 własności trybologiczne naprężenia wewnętrzne
__i m | ||||||
n i |
i i |
11 |
r i |
LCM | ||
ca |
1 i |
U |
11 |
1 1 |
IV' |
inżyni |
e |
rsk |
:ich |