Nano051

ci«łlMK«|ai

llnn

• kontrola uKrctutmma wstumu (*ic

— poiiło^o _ . VN~V inn^/.l «l.l|-,».ir.> llllc

'łk-jtrosi a rozi^v»ru:

~ niska konccnlRicja tlełckUAs- punklowycti

^— mciotti płatwa • lama (w    MoiMkuił>

—    wysokie c^ystolci woislw tscgrcgMcja)

“ nio2liwo<£ wyiostu selektywnego

V

• szerakn gama możliwych zwłązk<rw (Al. |». ” metodo .Jrozpiccznn

—    w-nnrtwy o grubo^ciuch ml nm tło mm

—    wzrost struktur niskowym taruwych

_    _ - mozl iwy choć itwlny

wmly:

trudności ze - wzrosłe m nierównowagowy in|

*

— domieszkowanie ograntc/rnic w> kictem fh/owym |np (IhAs Mn

•    struktury wymugiąjiącc dużego pt/rrcyccnin (ttp. tinAuSi)

•    układy *» ograniczonej iniea/alnoicl w fazie stale)

monitoring /« j//u tafdzo trudni