P1220095

WYKŁAD 12

MIKROSYSTEMY

■

zagadnienia:

I 'typowe elementy stosowane do budowy mikrosystemów, I przykłady zastosowań, zalety w stosunku do I makrosystemów,

I 'Skalowanie - co to jest? konsekwencje (podobieństwa), I problemy z redukcją wymiarów I 'technologia objętościowa / powierzchniowa,

I 'przykłady “podglądania Natury” w mikrosystemach

definicje- mikrosystem, BioMEMS, MEMS

I defir