WYKLAD12
mikrosystemy
zagadnienia:
•typowe elementy stosowane do budowy mikrosyitomow, przykład y zastosowań, zalety w stosunku do ma krosy stemów.
•skalowanie - co to jest? konsekwencje (podobieństwa), problemy z redukcją wymiarów •technologia objętościowa I powierzchniowa, •przykłady "podglądania Natury” wmłkrosystemach definicje - mikrosystem. BioMEMS, MEMS