Nano03 11 005

Mechanizmy reakcji eh etnicznych w procesach CVD są zwykle bardzo zło żon e.

W przestrzeń i reaktora, w której zachodzi krystalizacja powłoki można wyró żn ić kilka ważnych s tret, które maj a istotny wpływ na proces CVP._

Są to :

strefa przepływu strumienia głównego „w której występuje wymuszony przepływ reagentów w kierunku równoległym do powierzchni podłoża.

-strefa tzw. warstwy granłcznej na granicy podłoże — faza gazowa, w której występuje inna koncentracja reagentów gazowych,inne szybkości przepływu i inna temperatura w stosunku do przepływu głównego strumienia reagentów;_ _ . .