Element? optyczne
Pomiędzy wyjściem promieniowania z lasera, a 'wejściem do komory reakcyjnej umiejscowione są. elementy optyczne, których celem jest kierowanie i ogniskowanie wiązki. Elementy te, do których zalicza się: soczewki i apertury, rozdzielacze wiązki oraz okienka laserowe, powodują absorbowanie pewnej ilości energii przy transporcie wiązki od lasera do odparowywanej tarczy.
Szczególnie ważnym wymogiem dla tej grupy elementów jest, aby: „ optykę utrzymywać w najwyższej czystości”.