229 (4)

wtarzania impulsów światła używanych do korekcji, gęstości mocy promieniowania w obszarze oddziaływania, prędkości wykonywania nacięcia itp. Właściwie nacięta ścieżka powinna mieć ostre krawędzie, charakteryzuje się niewielkimi zmianami materiałowymi i brakiem pęknięć w warstwie bezpośrednio do niej przylegającej. Do korekcji laserowej są stosowane najczęściej lasery Nd:YAG, impulsowego działania (np. do korekcji rezystorów cienkowarstwowych) i znacznie rzadziej lasery C0₂ (np. do korekcji rezystorów grubowarstwowych), a także lasery azotowe, argonowe, ekscymerowe. Przykład ścieżki naciętej laserem na rezystorze cienkowarstwowym przedstawia rysu-nek 8.56.

30KU WO^:21MM S‘00000 P=0000l

Rys. 8.56. Wygląd ścieżek korekcyjnych rezystora cienkowarstwowego naciętych wiązką laserową ja); b) powiększony fragment z rysunku ja): 1 - ścieżka nacięta laserem, 2 - podkładka ceramiczna,

3 - cienkowarstwowy rezystor

229