IMAG0152

Schemat blokom' układu pomiarowego XPS (X-ray photoelectron spectroscopy) (elektrony wybijane promieniowaniem rentgenowskim)

emis/a fotoelektronó w (<1.5 ke V) z powierzchni próbki (I-i 1 nm)

zwierciadW

ogniskującej^/

promieniowanie X (1,5 keV)

kąt wyjścia elektronów

próbka staja (pomiary XPS

pod bardzo niskim ciśnieniem ~10^s torr)

analizator energii kinetycznej elektronów i^,o-l_J5keV)

detektor elektronów (licznik elektronów)

w

sygnał XPS z powierzchni Si (Si (2p)f