8063591360

6

0.633p,m, a w drodze kolejnych podziałów tej długości osiąga się rozdzielczość pomiarową nawet 0.001 |im czyli 1 nm.

Zasadę działania systemu laserowego ilustruje rysunek 6. Światło lasera (1) spolaryzowane w dwóch prostopadłych płaszczyznach dochodzi do zwierciadła płaskiego rozdzielającego wiązkę na dwie składowe spolaryzowane liniowo. Światło odbite (2) jest spolaryzowane prostopadle do przechodzącego (3). Obie wiązki są odbijane od odpowiednich pryzmatów i powracają do głowicy laserowej.

©

System laserowy LSP-30

Rys.6. Zasada działania interferometru laserowego

Nieruchomy układ optyczny znajduje się w stałej odległości od głowicy tworząc w ten sposób stałe ramie odniesienia interferometru. Drugie układ optyczny może przemieszczać się względem głowicy tworząc razem z nią układ tak zwanego ramienia pomiarowego interferometru. System laserowy pozwala na dokładne wykrywanie różnic pomiędzy długością ramienia odniesienia i ramienia pomiarowego. Po odbiciu od pryzmatów wiązki (2) i (3) spotykają się i razem docierają do głowicy. Utworzona w taki sposób wiązka (4) składa się z dwóch składowych, które posiadają prostopadłe do siebie polaryzacje. Wiązka światła dochodzi następnie do detektorów (5) czułych na kierunek polaryzacji światła, które dają na wyjściu elektryczny sygnał o przebiegu zmiennym, sinusoidalnym, pozwalający na określenie kierunku przemieszczania się pryzmatu „pomiarowego” oraz określenie wielkości przesunięcia.

Przy wykorzystaniu interferometru laserowego LSP-30 do pozycjonowania maszyny można uzyskać następujące parametry pomiaru:

- zakres pomiaru 0 do 30 m

rozdzielczość pomiaru 0,1 lub 0,01 um