Niektóre spektrometry są przystosowane do pracy w środowisku czystego helu. Prowadzenie analiz w próżni poprawia wydajność oznaczania pierwiastków lżejszych od potasu ze względu na eliminację efektu absorpcji promieniowania X w powietrzu oraz wpływa na polepszenie kształtu widma poprzez usunięcie z widma piku argonu (2,9 keV)
Elementem wzbudzającym promieniowanie charakterystyczne w spektrometrach TXRF jest zwykle lampa rentgenowska z anodą molibdenową, lub wolframową, skonstruowano również instrumenty posiadające lampę z anodą ze stopu wolframowo-molibdenowego. Lżejsze aparaty przenośne wyposażone są w lampy rentgenowskie małej mocy z systemem chłodzenia opartym na efekcie Peltiera, nie wymagającym zastosowania ciekłego azotu [9]. Oprócz komercyjnych, gotowych spektrometrów używane są również tzw. przystawki wyprodukowane w Instytucie Atomowym w Wiedniu [10]. Zawieraj one elementy optyczne pozwalające na modyfikacje wiązki pierwotnej i pomiar metodą TXRF. Przystawki te montowane do dyfrakcyjnej lampy rentgenowskiej, co prawda oferują gorsze granice wykrywalności, nie posiadają automatycznego zmieniacza próbek i wymagają ręcznego dostrajania, są jednak wielokrotnie tańsze.
W Katedrze Fizyki Medycznej i Biofizyki prace analityczne prowadzone są na spektrometrze zaprojektowanym i skonstruowanym w dawnym Zakładzie Analiz Radiometrycznych. Do dyfrakcyjnej lampy rentgenowskiej (typu long fine focus) z anodą molibdenową dołączono przystawkę do pomiaru w geometrii całkowitego odbicia zaprojektowaną i wyprodukowaną w Instytucie Atomowym w Wiedniu [11]. Wiązka pierwotna opuszcza lampę w postaci wstążki o szerokości około 1 cm i grubości około 1 mm. Następnie ulega ona odbiciu od optycznie gładkiej powierzchni monochromatora (ang. cut -off - reflector - reflektor odcinający) dzieląc się na wiązkę przechodzącą oraz odbitą. W module TXRF monochromatorem jest doskonale wypolerowana płytka z Suprasilu. Jest to materiał często stosowany w optyce rentgenowskiej, powstający poprzez stopienie SiCU. Charakteryzuje się wysoką czystością, jest całkowicie jednorodny, wolny od zanieczyszczeń oraz pęcherzyków powietrza. Płaszczyzna monochromatora umocowana jest na trzech śrubach co umożliwia precyzyjne jego dostrojenie. Z uwagi na fakt, że przystawka nie jest wyposażona w kamerę konieczne jest ręczne ustawianie płaszczyzny odbicia poprzez obserwację rozszczepienia wiązki na ekranie fluorescencyjnym. Po prawidłowym
15