Mikroukłady

grubowarstwowe

Minimalna szerokość
ścieżki............................0,005”
minimalny odstęp między
ścieżkami................0,005”

Maksymalna grubość warstwy
przewodzącej...0,010”

Grubości podłoży:

• ceramicznych.............................0,010-
0,050”

•aluminiowych..............................0,010-
0,075”

•miedzianych.................................

•organicznych................................0,010-
0,075”

Systemy grubowarstwowe

na podłożu

ceramicznym:

96%Al

2

O

3

AlN

metalicznym:

Al-anodyzowane Cu-passywowane

organicznym:

FR4

cermetowe

-
przewodzą
ce

cermetowe
-
rezystywne
polimerow
e

W

yp

a

ł:

W

a

rs

tw

y:

powietrze, azot

powietrze,
T

max

<400

o

C

polimerowe

Utwardzanie
nisko-
temperaturowe
<200

o

C

Systemy grubowarstwowe

System azotowy

System powietrzny

System polimerowy

System polimerowy na

anodyzowanym alumnium

Zalety podłoża ceramicznego

Rezystory grubowarstwowe

•Polimerowe 10 - 100 k/ ±300 ppm/K

•rutenianowe 10 - 10 M/ ±50 ppm/K

•z azotku tantalu 10- 1 k/ ±100 ppm/K

•z tlenku cyny 1k-3 M/ ±150 ppm/K

•miedziowo-niklowe 40 m  

 / ±100 ppm/K

Parametry rezystorów (KITRON)

Warstwy przewodzące

Miedź 2,0 m/

Złoto 2,5 m/

Pt-Ag 3 m/

Pd-Ag 20 m/

Srebro 3,7 m/

Warstwy izolacyjne i pojemnościowe