Piezorezystancyjny czujnik

ciśnienia w kolektorze

dolotowym

Mateusz Prącik

Łukasz Kubis

Magda Grzesiak

Konstrukcja

Piezorezystancyjny czujnik ciśnienia wykorzystywany w motoryzacji musi
być odporny na wstrząsy oraz wysokie temperatury. Aby dostosować
współczynnik rozszerzalności termicznej krzemu i obudowy użyjemy czujnika z
płaską membraną osadzonym na szkle.

Rys. 1. Piezorezystancyjny czujnik ciśnienia na szkle

Szklana podstawa o wystarczającej wysokości izoluje mechanicznie strukturę
krzemową od materiału obudowy, w efekcie naprężenia powstałe na granicy
szkło-obudowa niwelowane są w szkle i nie oddziałując na membranę czujnika.

Technologia

Membrany możemy wykonać na dwa sposoby:

a) Przed procesami technologicznymi formującymi

piezorezystory w strukturze

b) Po procesach technologicznych formujących

piezorezystory w strukturze

Nasza Firma postanowiła skupić się na wykonaniu membrany przed
procesami technologicznymi formującymi piezorezystor.

Procesy technologiczne

1. Selekcja podłoży

2. Utlenianie wysokotemperaturowe

3. Fotolitografia okna do trawienia

4. Wytrawianie membrany płaskiej

5. Usunięcie tlenków oraz ponowne

utlenianie

6. Fotolitografia II, dyfuzja piezorezystorów

7. Fotolitografia III, dyfuzja doprowadzeń

p+

Zapraszamy do zamawiania

wysokiej jakości

piezorezystywnych czujników

ciśnienia do Waszych aut.

Dziękujemy za uwagę.