Piezorezystancyjny czujnik
ciśnienia w kolektorze
dolotowym
Mateusz Prącik
Łukasz Kubis
Magda Grzesiak
Maska 1
Rys. 1 Okno do trawienia membrany.
Wygląd struktury.
Maska 2
Rys. 2 Dyfuzja ścieżek.
Rys. 3 Maska 3. Dyfuzja piezorezystorów.
Maska 4
Rys. 4 - Maska do ścieżek.
Maska 5
Rys. 5 – Kontakty Al.