Ćwiczenie T3 _PTW
Nowoczesne półprzewodnikowe laboratorium technologiczne 
infrastruktura i aparatura technologiczna
INSTRUKCJA DO ĆWICZENIA LABORATORYJNEGO
prowadzący: dr inż. Beata Ściana, ul. Długa 61, bud. M-11, p. 139,
e-mail: [e-mail]
1. Cel ćwiczenia:
�� Zapoznanie się z wymogami nowoczesnego półprzewodnikowego laboratorium
technologicznego na przykładzie Laboratorium Nanotechnologii i Struktur
Półprzewodnikowych Wydziałowego Zakładu Mikroelektroniki i Nanotechnologii
(cleanroom w bud. M-11):
-� zaznajomienie się z podstawowymi wymogami czystych pomieszczeń dla technologii
półprzewodnikowej (ang. cleanroom),
-� poznanie infrastruktury niezbędnej do funkcjonowania nowoczesnego półprzewo-
dnikowego laboratorium technologicznego (klimatyzacja, systemy pozyskiwania wody
spektralnie czystej, aparatura do wytwarzania azotu i wodoru na poziomie czystości
półprzewodnikowej, urządzenia kontrolujące parametry powietrza w laboratorium
i czystość gazów technologicznych, systemy bezpieczeństwa, urządzenia do neutralizacji
niebezpiecznych związków, systemy wody chłodzącej oraz sprężonego powietrza
i podciśnienia,
-� zaznajomienie się z podstawowymi zasadami pracy osób w cleenroom-ie (odzież
ochronna, bezpieczeństwo).
2. Przebieg ćwiczenia:
�� Zapoznanie się z infrastrukturą umieszczoną poza cleanroom-em:
- generator azotu (rozprężanie ciekłego azotu),
- generator wodoru (elektroliza wody),
- oczyszczalniki azotu i wodoru,
- klimatyzator,
- neutralizator gazów poreakcyjnych,
- podstawowe instalacje (wodne, elektryczne, gazowe).
�� Zapoznanie się z pomieszczeniami i urządzeniami w obrębie cleenroom-u:
- system bezpieczeństwa,
- aparatura technologiczna i pomiarowa,
- główna hala technologiczna, laboratorium chemiczne, pomieszczenie do fotolitografii,
3. Pomiary:
- pomiar zapylenia powietrza i ocena klasy czystości w głównej hali technologicznej,
pracowni fotolitografii, pod komorą laminarną (pomiar pyłków o średnicy e" 0,3�m,
e" 0,5�m, e" 5,0�m w stopie sześciennej - licznik cząstek Aerotrak 9303 firmy TSI
z aktualną homologacją),
- ocena wpływu obecności człowieka na czystość w obrębie cleanroom-u,
- pomiar parametrów wody spektralnie czystej (rezystywność r�, parametr TOC) na
wyjściu z filtra końcowego urządzenia Millipore Milli-Q Integral 15.
4. Scenariusz zajęć (łączny czas wykonania ćwiczenia 135 minnut):
�� (40 min, sala dydaktyczna) wstęp teoretyczny do zajęć: przedstawienie tematyki zajęć,
omówienie podstawowych zagadnień związanych z wymogami i funkcjonowaniem
nowoczesnego półprzewodnikowego laboratorium technologicznego,
�� (35 min, pomieszczenia poza cleanroom-em) prezentacja podstawowej infrastruktury,
niezbędnej do funkcjonowania nowoczesnego półprzewodnikowego laboratorium
technologicznego,
�� (40 min, cleanroom) zapoznanie się z zasadami postępowania osób przed wejściem do
cleanroom-u (odzież ochronna, korzystanie ze śluzy) oraz podczas przebywania
w obrębie cleanroom-u, prezentacja aparatury i pomieszczeń w cleanroom-ie, pomiar
zapylenia powietrza i czystości wody spektralnie czystej,
�� (20 min, sala dydaktyczna) podsumowanie zajęć i kartkówka.
5. Literatura
Wykłady, PTW, prof. dr hab. inż. Reginy Paszkiewicz
http://www.cleanroom.com.pl [stan na 26.02.2015]
http://pl.wikipedia.org/wiki/Clean_room [stan na 26.02.2015]
http://www.lumexpol.pl [stan na 26.02.2015]
http://www.intech.eu [stan na 26.02.2015]
http://www.air-liquide.pl [stan na 26.02.2015]