Rentgenowskie promieniowanie charakterystyczne -promieniowanie X pojawia się gdy wysokoenergetyczne elektrony rozpraszane są na wewnętrznych elektronach atomów próbki. Gdy wysokoenergetyczny elektron wybija wewnętrzny elektron z atomu, powoduje powstanie luki i wypromieniowanie fotonu X. Ponieważ wy promieniowany foton X ściśle zależy od pierwiastka ma charakterystyczną długość fali związaną z tym pierwiastkiem.
Figurę 2-10.
X-ray
{WaIaa
rnOfOfi
OjW
Shei
Electron
Innw ShM Pnrrory
EWOron El«*ron
Characteristic X-rays are generated w hen an inner sltell yacancy is filled by a higher energy ouler shell electron. The energy ofthe X-ray equals ihe differenee between ihe electron energies and is characteristic of ihe emitting element.