Mapy rozkładu pierwiastków są tworzone poprzez wybranie pików tych pierwiastków, których rozkład w badanym obszarze jest poddawany analizie. Dla każdego pierwiastka powstaje okno, w którym jest on zaznaczany na strukturze.
Możliwe jest także badanie składu chemiczne próbki w punkcie lub wzdłuż wybranej linii na obrazie.
X Rdy An.łlym
Maps are acquired and colored using SpccdMap software.