1H5

Odzialywanie pomiędzy wiązką elektronów, a gazem

Rozdzielczość SEM zależy od możliwości zogniskowania wiązki elektronów na jak najmniejszym punkcie próbki.

Tymczasem gazy w kolumnie rozpraszają elektrony. Chociaż rozpraszanie może pojawić sie w dowolnym miejscu kolumny, to apertury w kolumnie separują

rozproszone elektrony.

Minima! Scatlenng    Partał Scatteong    Compłete Scattering

Scatter < 5%    5% to 95% Scatter    Scatter >95%

;n<0Q5    m from * 0 05to 3 0    m>30

Figurę 3-4. It is useful to define three scal te ring regimes based on the average number of scattering events per electron, m.

Conventional SEM 's operate in the Minimal Scattering Regime. ESEMs and LV-CS EM s operate in the Partial Scattering Regime. TheComplete Scattering Regime is not used for SEM imaging.