IMGW44

33

niższych temperatur podłoża w porównaniu z warstwami otrzymywanymi rozpylania. Różnica ta wynika z mniejszej energii atomów docierających ioża przy naparowywaniu w stosunku do rozpylania katodowego, sżność minimalnej i maksymalnej wielkości ziaren od temperatury podłoża '.orowywanych warstwach metalicznych o grubości 100 nm przedstawiono na 5.3a. Rysunek 5.3b przedstawia schematycznie model stref strukturalnych dla i warstw.

33

120-

I «

w

* 40

OS

0,1

• w •ft O Tl

so

0,05

10

■< i 10 « 2

10

^oL-r

JJ. Zależność minimalnej i maksymalnej wielkości ziarna od temperatur? podłoża dla Jzicsię* różnych warstw metali otrzymanych metodą naparowywania (a), model stref strukturalnych od-|powindajncy tym warstwom (by. <T_S - temperatura podłoża. T_M - temperatura topnienia nanoszonego

materiału) (31

poetąnk i eLrtrmywny eiMlaknji J wtimt

Dla Tj/Tm < 0,2 ziarna są mniejsze od 200 A. W zakresie 0,2 < Ts/T* < 03 jziama większe od 500 A otoczone są mniejszymi ziarnami. Struktura kolumnowa •ziaren pojawia się dla T$/T_M > 0,37. natomiast dla jeszcze wyższych temperatur stępuje wzrost warstwowy z rozmiarem ziaren większym niż grubość warstwy 5.3b).

5.2. Jednoskładnikowe warstwy na nok rysia liczne

[ Ostatnio pojawiły się wiadomości literaturowe dotyczące metod otrzymywania i właściwości jednoskładnikowych cienkich i uteracienkich warstw kobaltu, żelaza i niklu o strukturze nanokrystalicznej [2,3].