Sposób oceniania: Prawidłowa odpowiedz I phi, błędna odpowiedz!) pkl Pytanie Jest zaliczone wtedy gdy wszystkie punkty a, b,c, wjtaewt sq prawidłowo. Test wielokrotnego wyboru
1 Elektronolitogmlm jest stosowana do: a) wytwarzania masek do fotolitografii b) nanolitografii c) w technice LIGA
2 Warstwy amorficzne trawią się: a) anizotropowe b) izotropowo c) anizotropowe lub izotropowe w zależności od metody trawienia
3 iksnicszknmi donorowymi do krzemu są: a) fosfor b)arsen c)glin
' Mt*Mijc się dylli/ję zamiast Implmilitojl: a) gdy złącze musi być głębokie b) do wytwarzania super płytkich złącz c) technologia musi być wytląjiin, tania i prosta
t< linplantnąja za|X'wnin dużą koncciilntcję w wnislwach SI o grubości: a) > 2 pm b) 0.2 pm c) > 3 pm ' W czasie ulloiilniiln lemile/nego krzemu grula iść |)()zoslnlq| wmstwy: a) nie zmienia się b) zwiększa się h) /ninie|sza się N Szybkość w/nwlii wmstwy lemileZJUgo!dl( ).i MB podłożu SI wieży do: a) orłatitaęjl kiyslakigrnlWna) podkrża b) konceniraqJ| ilt•mieszki w |ssllo/ue)ezasiiprocesu
10 Melin la l’V|) wylwurzniiln iiiolall/nejl; u) laizi||e nu pitscslc pimiwnnla b) uinnżllwln nitiifii m/enle wollbimii I lanlnlut umożliwili nmioii/eiilo liilwu topllwych iiiclnll
11 Meiialą III' można wylwui/ać krys/laly: u) o dużej |Hężnoścl pm składników li)o mniej piężiiośei pm składników SjdlA*
12 IlomiH'p)iali'.jii lo omidz/iillo wnihlwy 1(1 wnill nil podłożu: ii) Hi h) NIC c)Nl(ie
13. W ptoccsic cpilaliiijl krzemu wbudowywanie się domieszki zależy od: u) jej rodzaju b) Icmpcrnliiry procesu c) s/yblunici w/roslu warslwy
14. Przy nanoszeniu rczyslu metodą (lawirowania p/uhość nanieśli mej warslwy zależy od: a) prędkości obrotowej wirówki b) lepkości rezyslu ej czasu (lawirowania
15. Uo/d/iek/iftć clcklronolilogralii zależy od: a) energii wiązki b) średnicy wiązki d) grulHiscl re/yslu