img090

ybkiego przesuwu pionowego stolika posuwu mikrometrycznego. iroskopem optycznym sprzężony jest imo żliwia prowadzenie analizy obrazu temu specjalistycznemu oprogramo-sera z pomocą myszy dokładny pomiar “gury geometrycznej lub obszaru eiu należy uruchomić progi*am Lucia Pro gramy). Po jego zainstalowaniu y wynik pomiaru obiektu był popraw-y:przez wybór funkcji „Kalibracja” r.w-ego powiększenia obiektywuf_oh-azru : brązu można przystąpić do po-__r : s... po przez wybór opcji o nazwie bogram LUCIA otwiera kolejne okno ocem prostym lub w postaci krzywej jwnkm na konturze obiektu, program r laijpiięj. Wynik pomiaru wyświetla-Pbr kładowy podgląd okna dla opcji kn:: rrzedstawia rysunek 1.11.

i.5.2. Mikroskop elektronowy transmisyjny (TEM)

Mikroskop elektronowy transmisyjny jest stosowany do obserwacji przedmiotów, gdy wymagana jest duża głębia ostrości obrazu i duża jego rozdzielczość. W mikroskopie JEM-1230 firmy JEOL można uzyskać maksymalną rozdzielczość obrazu rzędu kilku nanometrów, a rozdzielczość punktową rzędu 0,2 nm i powiększenie do 600 000 razy.

W mikroskopie TEM (rys. 1.12.) głównymi elementami konstrukcyjnymi znajdującymi się w kolumnie mikroskopu [6] są:

-    działo elektronowe w postaci katody z żarzonym włóknem wolframowym otoczone cylindrem Wehnelta, które produkuje wiązkę elektronów. Wiązka ta jest przyspieszana w polu elektrycznym katody i anody o potencjale 100-400 kV,

-    układ soczewek elektromagnetycznych kondensatora skupiających wiązkę elektronową na preparacie. W kolumnie, przez którą przechodzi wiązka elektronowa, występuje wysoka próżnia. Kondensator umożliwia zmianę stopnia skupienia tej wiązki, a zatem i zmianę jasności obrazu. Średnica skupionej wiązki elektronowej w postaci plamki na preparacie może dochodzić do 0,1 nm,

-    układ obserwacji i rejestracji obrazu.

włókno żarowe

cylinder Wehnelta

anoda

soczewki kondensora

próbka

żródto

' !j_napięcia

mmJ żarzenia

Ęgm źródło —j- wysokiego napięcia źródła napięcia soczewek elektronowych

do pompy próżniowej

kamera fotograficzna i

soczewka

obiektywu

soczewki

projektora

ekran fluorescencyjny

Rys. 1.12. Schemat budowy mikroskopu elektronowego TEM [6]

23