ARE - aktywowane reaktywnie naparowanie przy użyciu działa elektronowego
3ARE - aktywowane reaktywnie naparowanie przy użyci Jziała elektronowego z ujemną polaryzacją podłoża CB - reaktywne nanoszenie ze zjonizowenych Mastrów TAE - odparowanie reaktywne Kikiem elektrycznym JAD - katodowe odparowanie łukowe RIP - reaktywne napylanie jonowe HHCD - aktywowane odparowanie gorąpąktfodą wmkM*