PIC 0181

Etapy powstawania warstwy cienkiej:

I    - zarodkowanie na powierzchni podłoża (nukleacja);

II    - wzrost zarodków (klasterów atomów);

III    - zlewanie poszczególnych klasterów (koalestencja);

IV    - wzrost w kierunku prostopadłym do podłoża

połączony z rekrystalizacją

-    wzrost wyspowy

-    wzrost warstwowy

-    wzrost wyspowo - warstwowy