Materiał}' stosowane w technice LPE
Zdjęcie kaset}’ grafitowej do epitaksji LPE
3 strefowy piec oporowy łódka z metalicznym Ga
- polarne i nie-polarne
Mała szybkość wzrostu (0001): 1-2 jim/h
Terminologia
• MOCVD (Metalorganic Chemical Vapor Deposition) Proces CVD z użyciem związków metaloorganicznych
• MOVPE: Metalorganic Vapor Phase Epitaxy Proces VPE z użyciem związków metaloorganicznych
• Inne akronimy: OMVPE/OMCVD (Organometallic VPE/CVD)