296 (6)

skuje się wzrost twardości i odporności na ścieranie. Wtapianie laserowe może być łączone z laserową obróbką cieplną poprzez odpowiednie komponowanie powłok antyrefleksyjnych (np. powłoki węglowe nawęglają stale niskowęglowe).

12.55.    Co to jest implantacja jonów?

Implantacją jonów nazywa się obróbkę powierzchniową polegającą na wzbogacaniu cienkiej, bo dochodzącej zaledwie do kilkuset nm, warstwy w wybrane pierwiastki drogą bombardowania jonami tych pierwiastków. Istnieje także możliwość bombardowania powierzchni jonami rodzimymi. W tym przypadku pomimo niezmienności składu chemicznego zwiększa się twardość i odporność na ścieranie i zmęczenie na skutek większego zdefektowania struktury i korzystnego stanu naprężeń.

12.56.    Jak jest zbudowany i działa implantator?

Implantator jest komorą próżniową (ok. 10^-6 hPa), w której znajduje się źródło jonów (wytwarzające pary danego pierwiastka), ¹ układów przyspieszania jonów (wstępnego i dodatkowego), elek- j tromagnetycznego separatora jonów (który eliminuje jony niepo- I żądane o innej masie) i układu odchylającego umożliwiającego przemieszczanie wiązki jonów. Pary pierwiastka doznają przyspieszenia w polu elektrycznym od kilku KeV do kilku MeV I i z dużą energią bombardują powierzchnię elementu umieszczonego na drodze wiązki jonów, wnikając w głąb i wywołując przy tym zniekształcenie struktury, a także generując różne defekty. | Implantatory pozwalają na wprowadzenie w bombardowaną po- , wierzchnią dawek jonów dochodzących do 10¹⁸ jon cm^-2.

12.57. W jakim celu stosuje się implantację jonów?

Zastosowanie implantacji może być wielorakie. Technika ta jest wykorzystywana do wytwarzania elementów półprzewodnikowych (implantacja głównie borem i fosforem), np. tranzystorów bipolarnych, polowych oraz półprzewodnikowych obwodów scalonych. Implantacja znalazła także zastosowanie przy produkcji złącz p-n w bateriach słonecznych i różnego rodzaju detektorach promieniowania.

Z metaloznawczego punktu widzenia ważne są zastosowania implantacji modyfikujące własności warstwy wierzchniej, tj. zwiększające twardość i odporność na ścieranie narzędzi i części maszyn, a także poprawiające odporność na zmęczenie. Implanta-cja zwiększa też odporność na korozję. W stalach narzędziowych

,{0 WJ*⁰¹    .

--tłUUU' materii _strefv.

ipodobieństwa występuj^ sakooową?

MMutiscb obróbka trój ■pttókkę wiązką elek dranice technologiczne ^wmcżebyćstosfl

296